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湖州洁净厂房施工要点-张利群(全文完整版本)
发布时间：2025-06-16 来源：维高净化 浏览次数：54
洁净厂房施工要点-张利群(全文完整版本)
2011年1月1日
目录
一、基本要求
二、人员管理
（一）对人员的基本要求
（二）人员组成
（三）人员培训
三、文件管理
（一）一般规定
（二）文件类型
（三）开、竣工文件
（四）技术说明书
（五）制订文件的要求
（六）文件的保管
四、施工组织
（一）一般规定
（二）施工部署
（三）施工措施
五、施工程序
六、建筑装饰装修
（一）一般规定
（二）墙、柱、顶涂装工程
（三）地面涂装工程
（四）高架地板
（五）吊顶工程
（六）墙体工程
（七）门窗安装工程
七、净化空调系统
（一）一般规定
（二）风管及部件
（三）风管系统安装
（四）净化空调设备安装
（五）系统调试
八、排风及废气处理
（一）一般规定
（二）风管附件
（三）排风系统安装
（四）排风及废气处理设备安装
（五）系统调试
九、配管工程
（一）一般规定
（二）碳素钢管道安装
（三）普通不锈钢管道安装
（四）BA/EP不锈钢管道安装
（五）PP/PE管道安装
（六）PVDF管道安装
（七）PVC管道安装
（八）配管检验与试验
十、消防安全设施安装
（一）一般规定
（二）管线安装
（三）消防、安全设备安装
十一、电气设施安装
（一）一般规定
（二）电气线路安装
（三）电气设备安装
（四）接地设施安装
十二、噪声控制设施的安装
（一）一般规定
（二）噪声控制设施安装
十三、特种设施的安装
（一）一般规定
（二）高纯气特种气体供应设施的安装
（三）纯水供应设施的安装
（四）化学品供应设施的安装
十四、工程验收
（一）一般规定
（二）洁净厂房的测试
（三）竣工验收
（四）功能验收
（五）使用验收
十五、洁净室性能测试
（一）测试项目的选择和实施顺序
（二）测试方法

一、基本要求

1、承担洁净厂房工程的施工企业，应具有相应工程施工资质及其等级，并应具有完善的质量管理体系。
2、洁净厂房的施工应按设计文件、合约的内容实施。当修改设计时，应经原设计单位的确认、签证，并得到建设单位的同意。
3、洁净厂房施工前应根据具体工程项目的特点，制订施工方案和程序，做到各工种协调施工、阶段明确、交接清楚，确保整体施工质量和安全操作。
4、施工企业承担对洁净厂房工程内各专业设计图纸进行深化的施工详图设计时，应执行现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB50073的相关规定，并应加强设计质量管理，具有质量管理体系，施工详图应得到原设计单位的书面同意或确认，并得到建设单位的同意后，方能进行施工。
5、洁净厂房工程中各专业的隐蔽工程，隐蔽前必须经建设单位或监理人员的验收及认可签证。
6、洁净厂房工程竣工验收的系统调试，应在建设单位和监理单位的共同参与下进行，由施工企业负责进行系统调试、检测，承担调试的单位应具有调试、检测专职技术人员和符合本规范规定的测试仪器。

二、人员管理

 

（一）对人员的基本要求

1、洁净室及相关受控环境（以下简称洁净室）的各级施工人员应有必要的洁净室施工经历，
明确的分工和职责。
2、施工生产管理和质量管理的责任人不得互相兼任。
3、特殊工种作业人员应持证上岗。

（二）人员组成

 
1、洁净室施工应组成项目经理部。
项目经理部最基本的人员组成如下：
2、项目经理应是本项目工程进度、质量、安全及文明施工的第一责任人。
3、施工管理责任人应能正确判断和处理施工安全中的实际问题。
4、质量管理责任人应能正确判断和处理质量管理中的实际问题。
5、各种工种负责人和质量检验人员应通过专业技术培训，具备洁净室的基础知识和实际操作技能。
6、各类技工应通过专业培训，特殊岗位操作人员还应通过主管部门考核合格，持有上岗证。
（三）人员培训
1、洁净室施工安装单位及其项目经理部，应制订经常性的和针对施工项目的培训计划。培训计划应包括培训内容、方式、时间、地点、对象、教师、考核形式等。
2、培训内容应包括法律、法规、标准、规范、操作技能、洁净室基础知识及所施工项目的相关内容。
3、人员培训应注意因岗施教、因人施教、理论联系实际、普及与提高相结合。
4、各级施工负责人和质量检验人员应定期经过洁净室施工验收规范的专业技术培训。
5、新员工或更换岗位的员工，必须培训考核合格，方可上岗。
6、培训必须考核，培训和考核必须有记录。

三、文件管理

 

（一）一般规定

 
1、施工安装的全过程、竣工设施的详细情况、所有操作和维护程序，都应采用文件形式确认。
2、应使文件管理系统成为质量保证体系的重要组成部份，为施工安装的运作提供文字依据，为责任和奖惩提供明确依据，为质量改进提供原始依据。

（二）文件类型

 
1、施工安装文件分为制度、标准和记录三大类。
2、制度文件包括企业管理、施工管理、质量管理及施工辅助材料验收、发放管理制度、质量检验制度、安全卫生管理制度、人员培训制度等。
3、标准文件包括技术标准和工作标准。技术标准如施工质量标准、施工工艺规程等，工作标准如各种岗位、工种操作法或各种标准操作规程等。
4、记录文件包括各种记录、凭证和各种报告等。

（三）开、竣工文件

 
1、工程施工应有开工报告、中间验收单、竣工验收检测调整记录和竣工验收单、竣工报告。
2、施工安装工程中应有设备开箱检查记录、土建隐蔽工程记录、管线隐蔽工程系统封闭记录、管道压力试验记录、管道系统清洗（脱脂）记录、风道清洗记录、风道漏风检查记录、设备单机试运转记录、系统联合试运转记录等。

（四）技术说明书

 
1、工程竣工后，施工方应提供关于工程详细情况的工程施工说明书，包括：工程及其功能作用，性能，最后验收的竣工图，和设备清单及库存备件。
2、各类设施或系统应配存一套明确的使用说明书，包括：设施启动前应完成的检查和检验计划，设施在正常和故障方式下启动和停运程序，报警时应采用的程序。
3、各类设施或系统应有性能监测说明书，包括：测试频率、测试方法、测试结果不符合要求时的措施等。
4、各类设施或系统应有维护说明书，包括：进行维护或修理之前的安全程序的确定，在性能参数超过范围时应采取的维护行动的技术要求，对控制安全和监测装置进行检查和校验的时候，检查和更换各种易损件的要求，维护工作中实施人员进行清洁的技术要求。

（五）制订文件的要求

 
1、文件的标识应能清楚证明文件的性质。
2、各类文件应有便于说明其文本、图册的系统编码和类别。
3、文件数据的填写应真实、清晰、不得任意涂改。若需修改，需在核改处签名，并应使原数据仍可辨认。
4、不得使用铅笔填写文件，文件表格内容应填全，不得留有空格，若无内容，填写时要用“－”表示，相同内容应重复填写。
5、文件应有相关责任人签名。

（六）文件的保管

 
1、各类记录应保管至工程竣工后三年，不得提前销毁。
2、文件复印副本应与正本完全一致。
3、所有文件的页码必须正确、连贯、不得任意撕毁。
4、文件的保管与归档应符合国家、地方、行业的有关规定。

四、施工组织

 

（一）一般规定

 
1、承担洁净室及相关受控环境（以下简称洁净室）施工的单位应按照本规范的相关规定，建立质量管理体系。
2、施工单位应编制施工组织设计，并应根据本规范附录A的内容，制定具体工程的施工程序，按程序对施工全过程实行质量控制。
3、施工过程中，严禁违反设计文件擅自改动系统、参数、设备选型、配套设施和主要使用功能。严禁不执行本规范强制条文的规定。当修改设计时，应经原设计单位确认、签字，并得到建设单位的同意，在通知监理方之后执行。

（二）施工部署

 
1、施工组织设计应明确项目的所在地、整体项目的工程概况、净化项目的工程概况。
2、施工组织设计应明确净化项目的质量目标、工期目标、安全目标、环保和节能目标。
3、施工项目部应有以项目经理为首的项目班子，项目为项目经理总负责制。各级人员都应有工作职责和分工。
4、项目班子应按施工组织设计中要求的人力资源计划配备相应的施工人员，特殊工种必须持证上岗。
5、实行质量责任制，贯彻“谁施工谁负质量责任，谁主管谁负质量责任”原则。
6、应做好中间验收与调试、试运转的方案，器具、仪器等准备工作。

（三）施工措施

 
1、施工过程中应采取以下质量保证措施
（1）.建立公司、项目经理部二级质量保证体系，建立项目经理为第一责任人的项目质量责任制，协同相关科室，建立质量管理网络。
（2）.严格按施工图及相关规范施工。严禁违反设计文件擅自改动图纸；严禁未经设计确认和有关部门批准擅自拆改水、暖、电、燃气、通讯等配套设施。
（3）.实行施工人员挂牌制度，严格自律。
（4）.对于进场材料应按规定进行抽查，测试，合格后方可使用。
（5）.对关键技术、关键工序、特殊难点应编制作业指导书。
（6）.对关键部位宜进行样板制施工，待业主和监理工程师认可后大规模施工。
（7）.管道、设备等安装及调试应在建筑装饰装修工程施工前完成，当不能提前时，应在饰面等施工前完成。
（8）.应及时填写施工检查记录和施工验收记录以及其他应予填报的记录，做到文件与工程同步。
（9）.对于特殊制作工序，必须制定特殊工序规定，施工人员应熟练掌握特殊工序的规定。
（10）.对环境有要求的施工工序，应确保环境要求后，方可施工。
2、成品保护措施
（1）.统一全场成品保护和警示标志。
（2）.设备材料应有防雨雪、防晒的措施，避免设备材料锈腐老化。
（3）.对于空气过滤器等重要器材与设备，应设置专门区域保管。
3、特殊气象条件施工措施
（1）.可能出现零度以下环境温度时，应有施工用水管道的保温防冻措施。
（2）.设有临时加温设备，确保冬季施工对环境温度的要求。
（3）.环境温度在零度以下时，不应进行水压试验。其他时间水压试验时，应做到随时试压、随时放空。
（4）.施工区域内应做好防雨措施。
（5）.沙尘暴期间应关闭、密闭施工区域通向外界的所有孔口，覆盖所有露天存放的设备与材料，停止系统的运行、调试。
4、安全保证措施
（1）应有安全保证的应急救援预案，制定安全方针：预防为主、自救为主、统一指挥、分工负责；优先保护人和优先保护大多数人，优先保护贵重财产等原则和方针。
（2）所有施工人员应有安全培训。
（3）明确施工消防平面布置图，画出消防栓、灭火器的设置位置，易燃易爆的位置，消防紧急通道，疏散路线等。
（4）上下交叉作业有危险的出入口要有标志和隔离设施。
（5）认真做好安全技术工作的书面交底，并认真做好记录,加强防范意识。
（6）应制定用电安全规程。
（7）加强施工现场的防火工作，要严格执行防火安全规定，施工队伍进入现场建立防火组织，责任到人。
（8）杜绝现场动用非生产性的明火。如因生产需要动用明火，用火操作中引起火花的应有控制措施，用火结束后应有检查措施。
（9）施工单位应细化并遵守有关施工安全、劳动保护、防火和防毒的法律法规，配备必要的设备、器具和标识，特别是禁烟、禁火的标志。
5、环境保护与节能
（1）施工材料在运输、储存和施工过程中，必须采取包裹、覆盖、密闭、围挡等措施，防止污染环境。
（2）施工现场应设立专门的废弃物临时贮存场地，废弃物应分类存放、再利用，对有可能造成二次污染的废弃物必须单独贮存、设置安全防范措施且有醒目标识。
（3）根据环保噪声标准日夜要求的不同，合理协调安排施工分项的施工时间。
（4）应对油漆、调和物、粘接剂等影响环保的产品，有专门管理措施。
（5）施工过程中应做到当天施工当天清理现场，并有专人负责的制度。
（6）施工完成后根据需要可进行环保测评。
（7）施工组织设计应包括施工节能内容，编制施工节能方案，并经监理（建设）单位审查批准，对从事施工节能作业的专业人员进行技术交底和必要的实际操作培训。
（8）采取节约用电、用水措施，施工用电、用水应安装计量装置。

五、施工程序

（一）洁净厂房的施工安装内容主要有：建筑装饰、净化空调系统、各动力公用和安全设施以及各种配管配线等；洁净厂房的施工安装应根据具体工程特点，使用功能，还应安排好相关生产工艺设备的安装和二次配管配线的安装。
（二）洁净厂房的施工安装程序中，应根据具体工程情况、复杂程度等因素，必要时应进行二次洁净室装饰设计或二次配管配线设计等。
（三）洁净厂房的施工安装需各专业、多工种密切配合，按具体工程实际情况，制定施工安装程序和计划进度，循环渐进地完成洁净厂房的施工建造。下图是洁净厂房的主要施工程序图示。
洁净厂房的主要施工程序图示

六、建筑装饰装修

（一）一般规定

1、洁净厂房装饰装修工程进行施工详图设计时，应包括主要内容：
（1）室内装饰装修技术要求；
（2）吊顶、墙体用金属壁板模数选择；
（3）吊顶、隔墙、门窗、送回风口、灯具、报警器、设备留洞、管线留洞、特殊留洞等设施的综合布置和气密性节点图；
（4）门窗构造和节点图、金属壁板安装节点图。
2、洁净厂房装饰装修工程的材料选择，应符合下列规定：
（1）应满足项目施工图设计要求；
（2）应满足防火、保温、隔热、防静电、隔振、降噪等要求；
（3）应确保洁净室气密性要求，材料表面应不产尘、不吸附微粒、不积尘；
（4）应采用不霉变、防水、可清洗易清洁和不挥发分子污染物的材料；
（5）应满足产品质量、生产工艺的特殊要求，并不得释放对人员健康及产品质量有害的物质。
3、洁净厂房装饰装修工程的施工应在厂房主体结构和屋面工程完成并验收合格后进行。对现有建筑进行洁净室装饰装修时，应对现场环境、现有设施等进行清理与清洁，达到洁净施工要求后才能进行施工。
4、洁净厂房装饰装修工程施工过程，应对施工现场进行封闭管理，包括进出人员、设备材料等进行洁净管制。
5、洁净厂房装饰装修工程施工时的环境温度不宜低于5℃。低温施工时，对有温度要求和影响的施工作业，应采取保温措施。
6、装饰装修工程施工过程，应保持施工现场清洁，对隐蔽空间，应做好清扫与清洁记录。
7、洁净厂房装修工程施工过程，应保护已完成的装饰装修工程表面，不得因撞击敲打、踩踏等造成表面凹陷、破损和表面装饰的污染。

（二）墙、柱、顶涂装工程

1、本节适用于水性、溶剂型以及防尘、防霉涂料的涂装工程的施工验收。
2、基层状况的确认，应符合下列要求；
（1）基层养护应达到设计要求；
（2）基层表面平整度、垂直度及阴阳角方正；
（3）基底应坚实、牢固，不得出现蜂窝、麻面、空鼓、粉化、裂缝等现象；
（4）新建筑应将建筑物表面建筑残留物清理干净，并用砂纸打磨；旧墙面在施工前应将疏松部分清理干净，并涂界面剂后再补平；
（5）当在混凝土或抹灰基层上施工时，含水率要求：溶剂型涂料时宜大于8%；水性涂料时宜大于10%；
（6）抹灰基层施工应涂刷均匀、粘结牢固，不得漏涂、起皮、起泡、流坠和裂缝等。
2、涂装工程应符合下列要求：
（1）涂料颜色应符合设计要求；
（2）水性涂料涂饰工程施工不宜在阴雨天施工，环境温度应控制在10～35℃；
（3）涂装前确认基层已硬化、干燥，并符合本规范4.2.5条的规定；
（4）涂装层应涂饰均匀、粘结牢固，不得漏涂、透底、起皮、起泡、流坠和裂缝。

（三）地面涂装工程

1、基层状况的确认应符合下列要求：
（2）基层上的水泥、油污等残留物清理干净；
（3）当基层为建筑物的最底层时，必须做好防水层；
（4）基层表面的尘土、油污、残留物等应清除干净；并用磨光机、钢丝刷全面打磨、修补找平，并用吸尘器清除灰尘；
（5）对于旧地面为油漆、树脂及PVC地面清除时，应将基层表面打磨干净，并用腻子或水泥等修补找平。
（6）当基底表面为混凝土类时，其表面应坚硬、干燥，不得有蜂窝麻面、粉化、脱皮、龟裂、起壳等现象；且应平整、光滑；
（7）当基层为瓷砖、水磨石、钢板时，相邻板块高差不应大于1.0mm。板块不得有松动、裂缝等现象。
2、面层涂装应符合下列要求
（1）涂装的厚度、性能应符合设计要求。厚度偏差不得大于0.2mm；
（2）面层涂装必须待结合层晾干后进行；
（3）面层施工环境温度应控制在5～35℃；
（4）每次配料必须在规定时间内用完，并作好记录；
（5）面层施工宜一次完成。分次施工时，应做到接缝少，并设置于隐蔽处。接缝应平整、光滑，不得分色、露底；
（6）表面应无裂纹、鼓泡、分层、麻点等现象；
（7）防静电地面的体积电和表面电阻应符合设计要求。
3、地面涂装用材料应具有防霉、防水、易清洗、耐磨、发尘少、不积尘和对产品质量无害的性能。

（四）高架地板

1、高架地板及其支撑结构，应符合设计和承重要求。安装前应检查出厂合格证和复核荷载检验报告，每种规格均应具有相应的检验报告。
2、铺设高架地板的建筑地面，应符合下列要求：
（1）地面标高应符合设计要求；
（2）地面表层应平整、光洁、不起尘，含水率不大于8%，并按设计要求涂刷涂料；
3、高架地板的面层和支承件，应平整、坚实，并具有耐磨、防霉变、防潮、难燃或不燃、耐污染、耐老化、导静电、耐酸碱等性能。
4、对有防静电要求的高架地板，安装前应核查产品出厂证明、合格证和防静电性能测试报告。
5、对有通风要求的高架地板，面层上的开孔率和开孔分布、孔径或边长等均应符合设计要求。
6、高架地板支撑立杆与建筑地面的连接或粘结应牢固可靠。支撑立杆下部的连接金属构件应符合设计要求，固定螺栓的外露丝扣不得少于3扣。
7、高架地板面层铺设允许偏差，应符合下表的规定。
高架地板面层铺设允许偏差（mm）
项目
允许偏差
检验方法
铸铝合金地板
钢、复合地板
面层表面平整
2.0
2.0
2M靠尺和楔形塞尺检查
面层接缝高低差
0.4
1.0
钢尺和楔形塞尺检查
面层板块间隙宽度
0.3
1.0
钢尺检查
面层水平方向累计误差
L≤100m
±10
经纬仪或测距仪检查
100m〈L〈200m
±20
L≥200m
±35
注：L表示活动地板面层水平面某方向的长度
8、高架地板施工前应认真放线，正确选择标高基准点和标出地板块安装位置、高度。
9、高架地板安装后行走应无摆动，无声响，牢固性好。高架地板面层平整、清洁，板块接缝横平竖直。
10、高架地板边角位置板块的安装，应根据实际情况进行切割后镶补，设可调支撑和横杆，切割边与墙体交接处应用柔软的不产尘材料填缝。

（五）、吊顶工程

1、吊顶工程的施工前，应对下列隐蔽工程进行验收、交接。
（1）`吊顶内各类管道、功能设施和设备的安装工程；
（2）龙骨、吊杆和预埋件等的安装，包括防火、防腐、防霉变、防尘处理；
（3）其它与吊顶相关的隐蔽工程。
2、安装龙骨前，应按设计要求对房间净高、洞口标高和吊顶内管道、设备及其它支架的标高等办理工序交接手续。
3、吊顶工程中的预埋件、钢筋吊杆和型钢吊杆应进行防锈或防腐处理；当吊顶上部作为静压箱时，预埋件与楼板或墙体的衔接处，均应进行密封处理。支吊架应采取防尘处理。
4、吊顶工程验收时，应检查下列文件和记录：
（1）吊顶工程施工详图、设计及施工说明和相关产品合格证、性能检测报告和进场验收记录等；
（2）隐蔽工程验收记录；
（3）施工记录。
5、吊顶的固定和吊挂件，应与主体结构相联。不得与设备支架和管线支架联接；吊顶的吊挂件亦不得用作管线支吊架或设备的支吊架。
6、空气过滤器、灯具、烟感探测器、扬声器和各类管线穿吊顶处的洞口周围应平整、严密、清洁，并用不燃材料封堵。隐蔽工程的检修口周边应采用密封垫密封。
7、吊顶的标高、尺寸、起拱、板间缝隙应符合设计要求。板间缝隙应一致，每条板间缝隙误差不得大于0.5mm；并以密封胶均匀密封，做到平整、光滑、略低于板面，不得有间断和杂质。
8、吊顶饰面的材质、品种、规格等，应符合设计要求，并对产品性能进行核对。
9、吊杆间距宜小于1.5m。吊杆与主龙骨端部距离不得大于300mm。
10、吊杆、龙骨和饰面板的安装必须安全、牢固。
11、吊杆、龙骨的材质、规格及连接方式，应符合设计要求。金属吊杆、龙骨应进行表面防腐处理。
12、吊顶饰面表面应清洁、光滑、色泽一致，不得有翘曲、裂纹和缺损；并不得发生霉变，不产尘。
13、金属吊杆、龙骨的接缝应均匀一致，角缝应吻合，表面应平整，无翘曲、锤印。
14、吊顶工程安装的允许偏差和检验方法应符合下表的规定。
吊顶工程安装的允许偏差和检验方法
项次
项目
允许偏差（mm）
检验方法
金属板
石膏板
1
表面平整度
1.0～2.0
3.0
用2m靠尺和塞尺检查或水平仪检查
2
接缝平直度
1.0～1.5
3.0
拉5m线，不足5m拉通线，用钢直尺检查或经纬仪检查
3
接缝高低差
0.5～1.0
1..0
用钢尺和塞尺检查

（六）墙体工程

1、墙体工程施工前，应进行下列验收和交接：
（1）与墙体工程相关管线、设施的安装工程；
（2）龙骨、预埋件等的防火、防腐、防尘、防霉变处理。
2、墙体工程验收时，应检查下列文件和记录；
（1）墙体工程的施工详图、设计及施工说明和相关产品合格证、性能检验报告和进场验收记录等；
（2）隐蔽工程验收记录；
（3）施工记录。
3、金属壁板安装前应认真按施工图进行放线。墙角应垂直交接，防止壁板倾斜扭曲，壁板垂直度偏差不得大于0.15%。
4、墙体面板接缝间隙应一致，每条面板缝间隙误差不得大于0.5mm，并应在正压面以密封胶均匀密封，密封胶应平整、光滑，略低于板面，不得有间断、杂质。
5、墙体面板上的电气接线盒、控制面板和管线穿越处的各种洞口，应位置正确、边缘整齐、严密、清洁、不产尘，并应以不燃或或燃材料封堵。
6、安装门窗的预留洞口应符合设计要求，并应平整、严密、清洁、不产尘。
7、隔墙板材安装应牢固，预埋件、连接件的位置、数量、规格、连接方法和防静电方式应符合设计要求。
8、墙体板材安装应垂直，平整、位置正确，与吊顶板和相关墙体板的交接处，应采取防开裂措施；其接缝应进行密封处理。拐角处宜采用圆角。
9、墙体表面应平整、光滑、色泽一致，金属壁板的面膜应完好无损（撕膜前）。
10、墙体板材安装的允许偏差和检查方法，应符合下表的要求。
墙体板材安装的允许偏差和检验方法
项次
项目
允许偏差（mm）
检验方法
金属夹芯板
其他复合板
1
立面垂直度
≤1.5
2.0
用2m垂直检测尺检查
2
表面平整度
≤1.5
2.0
用2m靠尺和塞尺检查
3
接缝高低差
1.0
1.5
用钢尺和塞尺检查

（七）门窗安装工程

1、门窗工程验收时，应检查下列文件：
（1）门窗工程的施工图、设计或施工说明和其他相关文件；
（2）门窗的产品质量认证及（包括主要制作材料）合格证书、性能检验报告，进场验收记录；
（3）门窗固定（连接）件的隐蔽工程验收记录；
（4）门窗密闭性检测报告（空气洁净度1～5级洁净室）。
2、门窗表面应不发尘、不霉变、不吸附污染物、易清洁和消毒、平整、光滑，门窗上玻璃均应为固定型。
3、门窗边框、副框的安装必须牢固，预埋件、连接件的数量、规格、位置、埋设或连接方式等，均应符合设计要求。
4、门窗边框与墙体应连接牢固。门窗边框、副框与墙体之间的缝隙应均匀，并不得超过1mm。缝隙应以密封材料填嵌和密封胶密封。
5、洁净室门配件的型号、规格、数量应符合设计要求，并应牢固、表面光滑、不积尘、易清洁和消毒。
6、门窗表面应色泽一致，无锈蚀、无划痕和碰伤。保护层或薄膜应连续。
7、门扇应安装牢固，并开关灵活，关闭严密。
窗安装的允许偏差和检验方法，应符合下表的规定。
洁净室门窗安装的允许偏差和检验方法
项次
项目
允许偏差
（mm）
检验方法
1
门窗槽口宽度、高度
≤1,500mm
1.5
用钢尺检查
>1,500mm
2.0
2
门窗槽口对角线长度差
≤2,000mm
3.0
用钢尺检查
>2,000mm
4.0
3
门窗框的正、侧面垂直度
2.5
用垂直检测尺检查
4
门窗横框的水平度
2.0
用1m水平尺和塞尺检查
5
门窗横框标高
5.0
用钢尺检查
6
门窗竖向偏离中心
5.0
用钢尺检查

七、净化空调系统

（一）、一般规定

1、净化空调系统施工中使用的材料、附件和设备应符合工程设计图纸的要求，并不得产生或散发对产品生产的正常进行、产品质量和人员健康有害的物质。
2、施工中所使用的材料、附件和设备，应具有产品出厂合格证等，进施工现场前应经验收，并作好产品验收记录。
3、净化空调系统施工中的隐蔽工程，经验收和做好记录后，才能进行隐蔽。
4、净化空调系统的调试和试运转，应在洁净室（区）建筑装饰装修验收合格和各种管线吹扫及试压等工序完成后进行。

（二）风管及部件

1、净化空调系统风管的材质应按工程设计文件的要求选择，工程设计无要求时，宜采用镀锌钢板。当产品生产工艺要求或环境条件必须采用非金属风管时，应采用不燃材料或B1类难燃材料，并应表面光滑、平整、不产尘、不霉变。
2、净化空调系统的风管制作应符合下列要求：
（1）矩形风管边长小于或等于900mm时，底面板不得采用拼接；大于900mm的矩形风管，不得采用横向拼接；
（2）风管所用的螺栓、螺母、垫圈和铆钉均应采用与管材性能相适应，不产生电化学腐蚀的材料。不得采用抽芯铆钉；
（3）风管内表面平整、光滑，不得在风管内设加固框及加固筋；
（4）风管无法兰连接时不得使用S型插条、直角型插条及立联合角型插条等形式；
（5）空气洁净度等级为1～5级的净化空调系统风管不得采用按扣式咬口；
（6）镀锌钢板风管不得有镀锌层严重损坏的现象，如表层大面积白花、镀层粉化等；
（7）风管法兰的螺栓及铆钉孔的间距，当空气洁净度等级为1～5级时，不应大于80mm；6～9级时，不应大于100mm；
（8）矩形风管边长大于1000mm时，不得采用法兰卡子连接的无法兰风管。
3、风管现场制作、清洗和存放应符合下列要求：
（1）风管在现场制作时，应选择具有防雨蓬和有围档的场所，并保持现场清洁；
（2）风管的咬口缝、折边和铆接等处有损伤时，应进行防腐处理。
（3）风管制作后，应进行认真的清洗。清洗液应能有效去除污物、油渍等，并不得对人体健康和材质有危害；
（4）风管经清洁水二次清洗达到清洁要求后，应及时对风管端部封口，存放在清洁的房间内，并应避免积尘、受潮和变形。
4、风管清洗后，应以漏光法进行风管制作质量检查。应符合下列要求：
（1）宜在夜间进行；
（2）检测所用的机具、工具应绝缘良好，并设漏电保护；外表面应清洁干净、无油污、无尘、无破损现象；
5、静压箱的制作，应符合下列规定：
（1）静压箱本体、箱内固定高效过滤器的框架及固定件应进行镀锌或镀镍或喷涂或烤漆等防腐处理；
（2）外壳应牢固、气密性好，其强度和漏风量应符合规定。
6、净化空调系统的各类风阀，其活动件、固定件以及紧固件应采用镀锌或进行其他防腐处理；阀体与外界相通的缝隙处应采取可靠的密封措施。
7、金属风管的制作应符合下列要求：
（1）风管制作质量、允许偏差、焊缝质量和风管法兰连接或无法兰连接等的要求，应遵守现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB50243的相关规定；
（2）风管的咬口缝、法兰翻边不得有裂缝或孔洞，若出现微小裂缝或孔洞时，应在密封面面的正压侧涂密封胶；
（3）风管与附件连接处应严密，，若有缝隙，应在密封面的正压侧涂密封胶；
（4）镀锌钢板风管加工过程中出现镀层损坏或发现针孔、麻点、起皮等缺陷时，应刷防锈涂料2层以上。
8、矩形风管边长大于等于800mm或管段长度大于等于1250┨时，应采取风管加固措施，9、净化空调系统应设测试孔和必要的清洁检查门。检查门内表面应平整、光滑，启闭灵活、关闭严密，与风管的连接处应采取密封措施，其密封垫料宜采用成型密封胶带或软橡胶条制作。
10、柔性短管应符合下列规定：
（1）应选用不产尘、不易霉变、内表面光滑、不透气、防潮、防腐的柔性材料制作；
（2）柔性短管长度宜不超过250mm，其连接处应牢固、气密性好；
（3）柔性短管不得作为风管的找正、找平的异型连接管段。

（三）风管系统安装

1、净化空调系统风管的安装，应在其安装部位的地面已施工完成，室内具有防尘措施的条件下进行。
2、风管系统安装后，应进行系统的严密性试验，并经验收合格后才能进行风管保温等工序。
3、风管系统的吊、支架应牢固与建筑围护结构连接，当采用膨胀螺栓固定时，应符合相应技术文件的规定。支、吊架应进行防腐处理。
4、净化空调系统风管及其附件的安装，应符合下列规定：
（1）安装就位前必须擦拭干净，做到无油污、浮尘；
（2）在施工过程中发生停顿或施工完成时，应将风管端口封堵；
（3）法兰垫片应选用不产尘、不易老化、不透气和具有一定弹性的材料；垫片厚度宜为5～8mm；
（4）法兰垫片不得采用直缝对接方式。严禁在垫片上涂刷涂料，在接缝处可采用密封胶；
（5）风管穿过洁净室（区）吊顶、隔墙等围护结构时，应采取可靠的密封措施；
（6）风管内严禁其他管线穿越。
5、洁净室（区）内风口安装，应符合下列要求：
（1）安装前应擦拭干净，不得有油污、浮尘等；
（2）与风管的连接应牢固、严密；
（3）与吊顶/墙壁装饰面应紧贴，并做到表面平整，接缝处应采取可靠的密封措施；
（4）同一洁净室（区）的风口的安装位置应与照明灯具等设施协调布置，做到排列整齐、美观；
（5）带高效空气过滤器的送风口，应采用可靠的固定式。
6、风管安装后的严密性试验，应符合工程设计要求或下列规定：
（1）严密性试验，应按系统分别进行，漏风量应符合现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243的规定；
（2）净化空调系统风管的严密性试验，高压系统（空气洁净度等级为1~5级的系统）按高压系统进行检测，工作压力低于1500Pa风管系统（6~9级的系统）按中压系统检测。
7、风管部件、阀门的安装，应符合现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243的相关规定。
8、净化空调系统的风管均需绝热、保温，应符合下列规定：
（1）风管及其部件的绝热、保温，应采用不燃或难燃材料，其材质、密度、规格和厚度应符合工程设计文件要求；
（2）洁净室（区）内不得采用易产尘、霉变的材料；
（3）绝热、保温层的施工、验收应符合现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243的相关规定。
9、净化空调系统经清洗密封的风管、附件安装时，打开端口封膜后应即时连接；当必须暂时停顿安装时，应将端口重新密封。
10、风管绝热保温层外表面应平整、密封、无松驰现象。若洁净室（区）内的风管有保温要求时，保温层外表面光滑、不积尘、不吸尘，易于擦拭，接缝处应以密封胶密封。
11、柔性短管不得作为风管的找正、找平连接管。

（四）净化空调设备安装

1、净化空调设备应有齐全的随机文件，包括装箱清单、说明书、产品质量合格证书、性能检测报告和必要的图纸等，进口设备还应有商检文件等。
2、设备安装前，应在建设单位和有关方的参加下进行开箱检查，并做好开箱或验收记录。
3、设备的搬运、就位，应符合下列要求：
（1）设备的搬运、吊装应符合产品说明书的有关要求，并做好相关保护工作，防止设备损伤；
（2）设备就位前，应对其安装场所，设备基础进行核对、验收；
（3）设备就位、安装，应符合产品说明书的要求和相关标准的规定。
4、高效空气过滤器安装前，应具备下列条件：
（1）洁净室（区）建筑装饰装修和配管工程施工已完成，并验收合格；
（2）洁净室（区）已进行全面清洁、擦净，净化空调系统已进行擦净和连续试运转12h以上；
（3）高效过滤器安装场所及相关部位已进行清洁、擦净；
（4）高效过滤器已进行外观检查，框架、滤纸、密封胶等无变形、断裂——破损、脱落等损坏现象。
5、高效空气过滤器的安装，应符合下列规定：
（1）经外观检查合格后，应立即进行安装；
（2）安装高效过滤器的框架应平整、清洁，每台过滤器的安装框架的平整度偏差不得超过1mm；
（3）过滤器安装方向必须正确，安装后过滤器四周和接口，应严密不漏；
（4）采用机械密封时，应采用气密垫密封，其厚度为6~8mm，并紧贴在过滤器边框上；安装后垫料的压缩应均匀，压缩率为25%~50%；
（5）采用液槽密封时，槽架安装水平，并不得有渗漏现象；槽内无污物和水分。槽内密封液高度宜为槽深的2/3，密封液的熔点宜应高于50℃。
6、风机过滤器机组（FFU）的安装，应符合下列规定：
（1）安装前具备的条件，应符合高效空气过滤器安装前的要求；
（2）应在清洁环境进行外观检查，不得有变形、锈蚀、漆膜脱落、拼接板破损等现象；
（3）安装框架应平整、光滑；
（4）安装方向必须正确，安装后的FFU机组应方便维修；
（5）与框架之间连接处应有可靠的密封措施；
7、洁净层流罩的安装，应符合下列规定：
（1）安装前，应进行外观检查，无变形、脱落、断裂等现象；
（2）安装应采用独立的立柱或吊杆，并设有防晃动的固定措施，且不得利用相关设备或壁板支撑；
（3）直接安装在吊顶上的层流罩，其箱体四周与吊顶板之间应设有密封和隔振措施；
（4）垂直单向流层流罩的安装，其水平度偏差不得超过0.1%；水平单向流层流罩的安装，其垂直度偏差为±1mm；高度允许偏差为±1mm；
（5）安装后，应进行不少于1.0h的连续试运转，检查各运转设备、部件和电气联锁功能等。
8、净化空调系统空气处理机组的组装安装，应符合下列规定：
（1）型号、规格、方向、功能段和技术参数应符合设计要求；
（2）各功能段之间应采取密封措施；
（3）现场组装的组合式空气处理机组安装完毕后应进行漏风量检测，空气洁净度等级1~5级洁净室（区）所用机组的漏风率不得超过0.6%，6~9级不得超过1.0%，漏风率的检测方法应符合现行国家标准《组合式空调机组》GB/T1429的规定；
（4）内表面应平整、清洁，不得有油污、杂物、灰尘；
9、净化空调系统中电加热器的安装，应符合下列规定：
（1）外表面，应光滑不积尘，宜采用不锈钢材质；
（2）前后800mm的绝热保温层，应采用不燃材料；风管与电加热器连接法兰垫片，应采用耐热不燃材料；
（3）金属外壳应设良好接地；外露的接线柱应设安全防护罩。
10、空气吹淋室的安装，应符合下列要求：
（1）按工程设计要求，正确进行空气吹淋室的测量、定位；
（2）安装就位前，应进行外观检查，确认外形尺寸、结构部件齐全、无变形、喷头无异常或脱落等；
（3）检查空气吹淋室安装场所的地面平整、清洁，相关围护结构留洞符合安装要求；
（4）空气吹淋室与地面之间应设隔振垫，与围护结构之间应采取密封措施；
（5）空气吹淋室的水平度偏差不得超过0.2%；
（6）按产品说明书相关要求，进行不少于1.0h的连续试运转。检查各运动设备，部件和电气连锁性能等。
11、机械式余压阀的安装，应符合下列要求：
（1）按工程设计要求，正确进行余压阀的测量、定位；
（2）安装就位前，应进行外观检查，确认结构应能正确地灵敏动作；
（3）安装就位的余压阀，其阀体、阀板的转轴允许水平偏差不得超过0.1%；
（4）余压阀的安装应牢固，与墙体的接缝应进行可靠密封。
12、干表冷器的安装，应符合下列要求：
（1）按工程设计要求，正确进行干表冷器的测量、定位；
（2）与冷冻水供、回水管的连接应正确，且严密不漏；
（3）换热面表面应清洁、光滑、完好。在下部宜设排水装置，冷凝水排出水封的排水畅通。

（五）系统调试

1、净化空调系统的调试，应由施工单位负责，建设单位等参加。调试包括单机试车和系统联动试运转及调试。
2、系统调试所使用的仪器仪表的性能、精度应满足测试要求，并应在标定证书有效使用期内。
3、净化空调系统的联动试运转和调试前，应具备的条件：
（1）系统内各种设备已进行单机试车，并验收合格；
（2）所需供冷、供热的相关的冷（热）源系统试运转，并已调试通过验收；
（3）洁净室（区）的装饰装修和配管配线已完成，并通过单项验收；
（4）洁净室（区）内已进行清洁、擦拭，人员、物料进入已按洁净程序进行；
（5）净化空调系统进行全面清洁，并进行24h以上的试运转达到稳定运行；
（6）高效空气过滤器安装并已检漏合格。
4、净化空调系统的带冷（热）源的稳定联动试运转和调试时间，不得少于8h。
5、净化空调系统带冷（热）源联动试运转，应在空态下进行或按合约规定。
6、净化空调系统各种设备单机试运转，应符合现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243和相关产品标准的规定。
7、单向流洁净室的风量、风速的调试结果，参照NEBB《洁净室认证测试程序标准》的相关要求，应符合下列规定：
（1）送风量测试结果应为设计风量的±5%之内，相对标准偏差应不大于15%；
（2）截面平均风速应为设计值的±5%之内，各检测点截面风速相对标准偏差（不均匀度）应不大于15%。
8、非单向流洁净室的送风量测试结果，参照NEBB《洁净室认证测试程序标准》的相关要求，应为设计风量的±5%之内，各风口的风量相对标准偏差（不均匀度）不大于15%。
9、新风量测试结果不得小于设计值，且不得超过设计值的10%。
10、洁净室（区）内的温度、相对湿度测定结果，应符合下列要求：
（1）洁净室（区）内的温度、相对湿度的实测结果，应满足设计要求；
（2）按规定的检测点的实测结果的平均值，偏差值应为90%以上测点在的设计要求的精度范围内。
11、洁净室（区）与相邻房间和室外的静压差测试结果，应符合设计要求。
12、洁净室内的气流流型的测试，确认单向流、非单向流、混合流流型，符合设计和性能技术要求。
13、洁净室内的气流方向测试，确认气流方向及其均匀性符合设计和气流流型要求。
14、净化空调系统的控制系统及其检测、监控、调节元器件、附件的实施性调试，做到动作准确，显示正确，运转稳定，控制精度等符合设计要求。

八、排风与排风处理

（一）一般规定

1、排风、排风系统的材料、附件和设备应符合工程设计图纸的要求，并应遵守相关环境保护、公共卫生方面的国家现行标准、规程、规范的规定。
2、施工中所使用的材料、附件和设备，应具有产品出厂合格证书等，进施工现场前应经验收合格、并有质量验收记录。
3、洁净厂房中各种排风、排风系统施工中的隐蔽工程，经验收和做好记录后，才能进行隐蔽。
4、各种排风、排风系统应按管内排风类型及其介质种类、不同浓度进行管道涂色标志，对可燃、有毒的排风应作特殊标志。管路应标明流向。
5、排风、排风系统的调试和试运转，应与洁净厂房内的净化空调系统同步进行，并应按各个独立排风、排风系统分别进行调试和试运转。调试和试运转应在建设单位的共同参与下进行。

（二）风管、附件

1、风管、附件的材质应按工程设计要求选择，若工程设计无要求时，应按下表选用。
排风管道材质的选用
排风类别
风管、附件材质
一般排风、热排风
镀锌钢板
酸类排风
PVC板、CPVC板、PP板、玻璃钢、涂四氟乙烯的不锈钢板等
碱类排风、氨排风
PVC板、CPVC板、PP板、玻璃钢等
有机废气排风
不锈钢板、镀锌钢板
易燃易爆物质排风
不锈钢板、镀锌钢板
除尘系统
薄钢板
2、排风管道采用金属管道时，其材料品种、规格、性能和厚度应符合设计图纸要求，当设计无要求时，镀锌钢板、不锈钢板厚度不得小于下表的规定。
排风管的板材厚度（mm）
类别
风管直径（D）
或长边尺寸（b）（mm）
镀锌钢板
不锈钢板
除尘系统
矩形风管
圆形风管
D（b）≤450
0.6
0.5
0.5
1.5
450< D（b）≤630
0.75
0.6
0.75
1.5
630< D（b）≤1,000
0.75
0.75
0.75
2.0
1,000< D（b）≤1,250
1.0
1.0
1.0
2.0
1,250< D（b）≤2,000
1.2
1.0
1.0
2.0
2,000< D（b）≤4,000
按设计
1.2
1.2
按设计
注1、特殊除尘系统风管厚度应符合设计要求。
2、具有强腐蚀性的排风系统风管厚度应符合设计要求。
3、排风管道采用非金属风管时，其材料品种、规格、性能和厚度应符合设计图纸要求；当设计无要求时，非金属风管板材的厚度应符合现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243的相关规定。
4、洁净厂房中排风管道的制作，应符合下列规定：
（1）可燃、有毒的排风风管的密封垫料、固定材料应采用不燃材料；
（2）风管所用螺栓、螺母、垫圈和铆钉均应采用与管材性能相适应，并不产生电化学腐蚀的材料；
（3）镀锌钢板不得有镀锌层严重损坏的现象，如表层大面积白花、镀层粉化等；
（4）风管法兰的螺栓及铆钉孔的间距，不应大于100mm；矩形风管法兰的四角部位应设有螺孔。
5、风管进行内外表面清洁后，应以漏光法进行风管制作质量检查。风管漏光检查，宜在夜间进行。
6、排风风管的强度试验压力应比工作压力低500Pa，但不得低于-1500Pa。接缝处无开裂。
7、排风系统的各类风阀、排风罩等部件，应按工程设计或产品合格证书进行检查验收，并应符合下列规定：
（1）手动风阀的手轮或板手，应以顺时针转动为关闭，其调节范围及开启角度指示应与叶片开启角度一致；
（2）用于不连续工作的排风系统的风阀，关闭时应密闭；
（3）排风系统关断用风阀，关闭时，泄漏率不得大于3%；
（4）电动、气动的风阀，应动作准确、可靠。
8、 防爆、可燃、有毒排风系统的风阀制作材料必须符合设计要求，不得自行代用。
9、 防排烟阀、柔性短管应符合下列要求：
（1） 防排烟阀（排烟口）应符合有关消防产品标准的规定，并具有相应的产品合格证明文件；
（2） 防排烟系统柔性短管的制作材料必须为不燃材料制作。
10、排风风管（包括金属、非金属）、风阀、风罩等的制作质量、允许偏差、焊缝或咬口质量、风管法兰连接或无法兰连接和风管加固等要求，应遵守现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243的相关规定。

（三）排风系统安装

1、排风系统风管干管、支干管的安装，宜与净化空调系统同步进行；接至排风罩、排风点的支管安装，宜在洁净室（区）的围护结构完成后进行，并应采取完善的防尘措施。
2、排风系统的支（吊）架应进行防腐处理，并应与建筑物结构牢固连接。
3、排风系统全部安装完成后，应分系统进行严密性试验，管内清洁和外表面处理应在验收合格后能进。
4、 排风风管穿过防火、防爆的墙体、顶棚或楼板时，应设防护套管，其套管钢板厚度不应小于1.6mm。防护套管应事先预埋，并可靠固定；风管与防护套管之间的间隙，应以不燃隔热材料封堵。
5、 排风风管安装，应符合下列规定：
（1）输送含有可燃、易爆介质的排风风管或安装在有爆炸危险环境的风管应设有可靠接地；
（2） 排风风管穿越洁净室（区）的墙体、顶棚和地面时，应设套管，并应作气密构造；
（3）排风风管内严禁其他管线穿越；
（4）室外排风立管固定拉索，严禁与避雷针或避雷网连接。
6、 排风风管内气体温度高于80℃时，应按工程设计要求采取防护措施。
7、风管安装后的严密性试验，应符合工程设计要求，当无要求时应符合下列规定：
（1）严密性试验，应按系统分别进行试验；
（2）排风风管系统的试验压力（P）为1500Pa，其允许漏风量等于或小于0.0117P0.65（m3/（h?m2））。
8、排风风管的安装、风管的连接和支（吊）架的安装等，应符合现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50234的相关规定。
9、除尘系统的风管及阀门的安装，应符合设计要求。风管宜垂直或倾斜敷设，避免水平管敷设；除尘装置吸风管段上阀门，宜安装在垂直管段上。
10、输送含有凝结水或其他液体的排风风管宜按大于5%的坡度敷设，并在最低处设排液装置。
11、接至生产工艺设备的排风管（罩）应按设计要求进行安装，并应做到位置正确、固定牢固。
12、排风风管穿越屋面或外墙处应做好防水处理，不得有渗水现象。排风系统的风帽，应安装牢固。

（四）废气处理设备安装

1、排风处理设备应具有齐全的设备本体和净化（吸附）材料、附件等的技术文件，包括产品说明书、质量合格证书、性能检测报告、装箱清单和必须的图纸等，进口设备还应有商检文件等。
2、设备安装前，应在建设单位和有关方的参加下进行开箱检查，并做好开箱及其验收记录。根据排风处理设备的功能或处理技术的复杂程度，必要时应进行设备出厂前的验收，具体出厂验收内容和要求应在合约中规定。
3、设备的搬运、吊装应符合下列要求：
（1）设备的搬运吊装应符合产品说明书的有关要求，并做好相关保护工作，防止设备损伤或处理性能降低；
（2）大、中型设备的搬运、吊装前，应根据设备外形尺寸、重量和产品说明书要求、安全生产要求等，制订安全、可行的搬运、吊装方案，经建设单位、工程监理认可后实施。
4、设备就位前应对基础进行验收，合格后才能安装。基础验收时应同时核对设备重量（含净化处理材料的重量）与承载能力的一致性。
5、吸附式废气处理设备的安装，应符合下列要求：
（1）直接安放整体废气处理设备的基础，其表面水平度不应大于2‰；
（2）吸附装置本体的垂直度不应大于2‰；
（3）应将选定的主管口中心与安装基准线、基础面对准，其允许偏差不应大于3mm；
（4）装填吸附剂前，应对设备内部以清净空气进行吹扫，去除杂物等；
（5）装填吸附剂前应按设备技术文件的规定，核查吸附剂的有效活性；
（6）装填、安装完成后应按设计要求进行气密性试验，试验压力宜为+500Pa，保压时间30min，经检查应无泄漏和异常现象。
6、湿法废气处理设备的安装，应符合下列要求：
（1）洗涤塔、液体箱的基础，其表面水平度不应大于2‰；
（2）洗涤塔、液体箱的本体铅垂度不应大于1‰；
（3）设备、管路组装完毕后，注水至工作液位，先应以工作压力+500Pa气体压力进行气密性试验，保压时间30min，经检查应无泄漏和异常现象；再以循环泵工作压力进行液体管路强度试验，保压时间20min，经检查应无泄漏和异常现象。
7、除尘器的安装，应符合下列要求：
（1）型号、性能参数、进出接管方向应符合设计要求；
（2）除尘器的基础，其表面水平度不应大于2‰；除尘器壳体垂直度不应大于1‰；
（3）现场组装的除尘器应作漏风量检测，在1500Pa压力下允许漏风量为3%；
（4）采用过滤元件的过滤除尘装置时，应按产品说明书要求进行安装和气密性检测；
（5）布袋除尘器、电除尘器及其辅助设备的壳体应可靠接地。
8、转轮式废气处理设备的安装，应符合下列要求：
（1）型号、性能参数、接管位置等应符合设计要求；
（2）设备的基础，其表面水平应不大于2‰；垂直度不应大于1‰；
（3）设备的壳体应可靠接地。
9、吸附式废气处理设备的安装，还应符合下列要求：
（1）吸附剂装填方式包括吸附剂层高、密实度等，应符合设计要求；
（2）吸附剂层的支承可靠，并方便装卸；
（3）吸附剂层表面的水平度不应大于3‰，各吸附剂层的高度差不应大于1‰；
10、湿法废气处理装置的安装，还应符合下列要求：
（1）喷淋器安装位置正确，固定牢固，喷淋均匀和喷洒面符合设计要求；
（2）当设备内设有换热器时，安装位置正确，固定可靠，换热面清洁、完好；
（3）设备附件（含液位计、压力表等）、配管及其阀门安装位置正确，动作灵活，表计指示准确；
（4）循环泵的型号、规格和性能参数等均应符合设计要求。
（五）、系统调试 (洁净厂房施工要点原文来源：)
1、排风与废气处理系统的试运转和调试，应由施工单位负责，建设单位、监理单位等参加，调试包括设备单机试车、系统联动试运转和调试。调试用仪器、仪表的性能参数、精度应满足测试要求，并应在标定证书有效期内。
2、排风系统的联动试运转和调试前，应具备下列条件：
（1）系统内各种设备已进行单机试车，并验收合格；
（2）洁净室（区）的装饰装修和各类配管配线量完成，并通过单项验收；
（3）洁净室（区）内已进行清洁擦拭，人员、物料的进出已按洁净程序进行。
3、排风系统的联动试运转和调试应达到工程设计的性能参数（包括风量、风压等），稳定连续试运转时间不应少于4.0h。
4、排风系统调试前，施工方应编制试运转和调试方案，经建设单位认可后进行。调试结束后，应提供完整的调试资料和报告。
5、设备单机试运转和调试应符合下列要求：
（1）通风机、水泵的试运转要求，应按现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243的规定进行；
（2）废气处理设备的试运转和调试，应按工程设计或设备技术文件要求进行，其稳定连续试运转时间不应少于2.0h；
（3）各种手动、电动风阀操作应灵活、可靠，动作准确。
6、排风系统的联动试运转和调试，应符合下列要求：
（1）系统总风量调试结果与设计风量的偏差不应大于±10%；
（2）系统风压调试结果与设计值的偏差不应大于±10%；
7、排风与废气处理系统试运转和调试的初始压力降、噪声不应超过工程设计和产品说明书要求。
8、排风系统联动试运转和调试，还应符合下列规定：
（1）试运转中设备和阀门、主要附件的动作应符合设计要求，并做到正确和无异常现象；
（2）各排风系统的风量应进行平衡调整，各风口或风罩的风量与设计风量的允许偏差不应大于10%；
（3）与排风系统相关的供气、供排水系统运行正常。

九、配管工程

（一）一般规定

1、本章适用于洁净厂房内设计压力不大于是1MPa，设计温度不超过材料允许的使用温度的碳钢管道、不锈钢管道、工程塑料管道等配管工程的施工安装质量验收。
2、管道安装应具备下列条件：
（1）与配管工程相关的土建工程已检验验收合格，满足安装要求，并办理了交接手续；
（2）施工应按照工程设计文件进行；
（3）配管工程使用的材料、附件、设备等已检验合格，并有相应的产品出厂合格证书等。规格、型号及性能等应符合设计要求；
（4）管子、管件、阀门等内部已清理干净，无杂物。对管子内表面有特殊要求的管道，其质量符合设计文件要求，安装前已进行处理，并经检验合格。
3、阀门安装前，下列管道的阀门应逐个进行压力试验和严密性试验，不合格者，不得使用。
1输送可燃流体、有毒流体管道的阀门；
2输送高纯气体、高纯水管道的阀门；
3输送特种气体管道、化学品管道的阀门。
4、除第7.1.3条规定范围外的各类流体管道的阀门安装前，应从每批中抽查20%，且不得少于2个，进行壳体压力试验和严密性试验。当不合格时，应加倍抽查，仍不合格时，该批阀门不得使用。
5、管道穿越洁净室（区）墙体、吊顶、楼板和特殊构造时，应符合下列：
（1）管道穿越伸缩缝、抗震缝、沉降缝时应采用柔性连接；
（2） 管道穿越墙体、吊顶、楼板时应设置套管，套管与管道之间的间隙应采用不易产尘的不燃材料密封填实；
（3）管道接口、焊缝不得设在套管内。
6、安装于洁净室（区）的管道、支吊架材料应采用不易生锈、产尘的材料，外表面应光滑、易于清洁。
7、配管上的阀门、法兰、焊缝和各种连接件的设置应便于检修，并不得紧贴墙体、吊顶、地面、楼板或管架。对易燃、易爆、有毒、有害流体管道、高纯介质管道和有特殊要求管道的阀门、连接件应严格按设计图纸设置。
8、有静电接地要求的管道，各段管子间应导电，当管道法兰或螺纹连接处电阻值超过0.03Ω时，应设导线跨接。管道系统的对地电阻值超过100Ω时，应设两处接地引线。

（二）碳素钢管道安装

1、管道预制宜按工程设计图/管道系统单线图进行，并与现场实测核对后加工。自由管段和封闭管段的加工允许偏差应符合现行国家标准《工业金属管道工程施工及验收规范》GB 50235的相关规定。
2、预制完毕的管段应按输送物料种类、设计图纸要求将管内外清理干净，并及时包好管口。
3、管子切割，管子公称直径小于等于100mm时，采用机械或气割切割；公称直径大于100mm时，采用气割切割。切口表面应平整、无裂纹、毛刺、凸凹、熔渣、氧化物等，切口端面倾斜偏差不应大于管子外径的1.0%，且不得超过2mm。
4、管道安装应符合下列规定：
（1）管道连接法兰密封面及密封垫片，不得有划痕、斑点、破损等缺陷；
（2）连接法兰应与管道同心，并应保证螺丝自由穿入。法兰对接应保持平行，其偏差不得大于法兰外径的1.5%，且不得大于2mm；
（3）管道连接时，不得采用强力对口、加偏垫、加多层垫等方法来消除接口端面的空隙、偏斜、错口或不同心等缺陷。
5、碳素钢管的连接应符合设计要求。设计无要求时，无缝钢管应采用焊接；镀锌钢管管径小于或等于100mm时，宜采用丝扣连接，管径大于100mm时宜采用法兰或卡箍钩槽连接。
6、管道安装用垫片，应符合下列规定：.7
（1）当大直径垫片需要拼接时，不得平口对接，宜采用斜口槽接；
（2）软垫片的周边应整齐、清洁，其尺寸应与法兰密封面相符，软垫片尺寸允许偏差应符合下表的要求。
软垫片尺寸允许偏差（mm）
法兰密封面形式
公称直径
平面型
凸凹型
内径
外径
内径
外径
<100
+2.5
-2.0
+2.0
-1.5
≥100
+3.0
-3.0
+3.0
-3.0
7、管道安装的允许偏差，应符合下列规定：
（1）管道坐标位置的允许偏差为15mm；
（2）管道安装高度的允许偏差为±15mm；
（3）水平管道平直度的允许偏差，对公称直径小于等于100mm时，应小于有效管长的0.2%，最大不超过50mm；公称直径大于100mm时，应小于有效管长的0.3%，最大不超过80mm；
（4）立管的垂直度的允许偏差为有效管长的0.3%，最大不超过30mm；
（5）共架敷设管道时，管道间距的允许偏差，应小于10mm；交叉管道的外壁或保温层间距的允许偏差，应小于15mm。

（三）不锈钢管道安装

1、 管道安装作业不连续时，应采用洁净物品对所有的管口进行封闭处理。
2、管材切割，宜采用机械割管刀或不锈钢带锯或等离子法进行切割。切口表面应平整、光洁，端面倾斜偏差不应大于管子外径0.05，且不得超过1mm。
3、不锈钢管的焊接，应符合下列要求：
（1）焊缝位置、坡口加工，应符合现行国家标准《工业金属管道工程施工及验收规范》GB 50235的相关规定；
（2）不锈钢管的焊接应采用手工氩弧焊，焊接时管道内充氩气进行管内保护，焊接接头应为全焊透结构；
（3）管子或管件、阀门组对时，应做到内壁平齐，对口错边量不得超过壁厚的10%，且不大于2mm；
（4）焊接前焊缝处应将油污处理干净，焊接后，焊接接头表面应进行处理。
4、不锈钢管道采用法兰连接时，法兰紧固螺栓应采用不锈钢材质；法兰垫片宜采用金属垫片或氯离子含量不得超过50×10-6的非金属垫片。
5、不锈钢管不得直接与碳素钢支架、管卡接触，应以塑料或橡胶垫片隔离，或采用氯离子含量不超过50×10-6的非金属垫片。法兰螺栓应采用不锈钢材质，垫片应采用氯离子含量不得超过50×10-6的非金属垫片。
6、管材、管件、阀门内外表面不得有明显划痕或锈斑；其规格、型号和性能应符合设计文件的规定。
7、管道分支宜采用三通连接，若两者相差2个管径及以上时，可采用等离子切割机或专用机械开口。采用等离子切割机机开口时，应有避免或减少高温碎渣飞溅至管内的措施。

（四）BA/EP不锈钢管道安装

1、BA/EP不锈钢管的预制、安装作业必须在洁净工作小室内进行，作业人员应经培训合格后岗，作业时应着洁净工作服、手套。
2、管子、管件和阀门在预制、安装前后或停顿工作时，应以洁净塑料袋封口；一旦发现封口袋破损，应及时检查、处理。
3、管子切割，直径等于或小于10mm，宜采用割管器；直径大于10mm时，宜采用专用电锯。应以纯氩（纯度99.999%）吹净管内切口的杂物、灰尘，并去除油污。
4、管道连接宜采用卡扣连接、法兰连接或焊接。采用焊接时，应符合下列规定：
（1）BA/EP管焊接应采用自动焊，焊接时管内应充纯氩气（99.999%）。焊接结束仍需继续充纯氩吹扫、冷却；
（2）BA/EP管焊接应正确地选择电极棒（钨棒）规格和焊接工艺参数。
（3）焊接前应按施工要求做出样品，检验合格后方可施焊；
（4）当改变焊接参数时，应按施工要求做样品，检验合格方可进行焊接作业。
5、管件、阀门组对时，应做到内外壁平整，对口错边不得超过壁厚的10%，且不得大于0.2mm。
6、BA/EP管道的点焊采用手工氩弧焊。点焊前应将管段固定，检查对口合格后，充氩气保护。点焊后继续采用纯氩冷却、吹扫。
7、BA/EP管及管件、阀门的内外表面应无尘、无油，表面平整，并不得有破损，氧化现象。
8、每焊接完成一个焊口，应采用不锈钢刷及时清除表面氧化层。焊缝形态应均匀，不得有未焊透、未融合、气孔、咬边等缺陷。
9、BA/EP管道连接用垫片的材质，应符合设计要求或设备、附件配带；安装前应确认垫片洁净无油、无污染物。
10、BA/EP管道安装，应按工程设计图顺气流方向依次进行，并应连续充纯氩吹扫、保护，管内纯氩压力应大于0.15MPa，直至管路系统安装结束。

（五）PP/PE管道安装

1、洁净厂房内PP/PE管道采用热熔焊接法施工。
2、施工中所采用的管材、附件、焊接材料等都已验收合格，符合设计要求，并做好检查记录。
3、焊接加工或施工现场，应保持清洁。焊接作业人员应经培训合格后上岗。
4、管道焊接的热熔接机，应根据管道直径采用相应型号、规格的焊机；焊接操作中应保持焊机、加热板的清洁、无尘。
5、管子切割宜采用专用割刀。切口端面倾斜偏差不得大于管子外径的0.5%，且不得超过1mm。
6、管子热熔焊接应符合下列要求：
（1）对接管段应可靠固定，对接面错边不得大于管子壁厚的10%，并不应大于1mm；
（2）应保持热熔焊接加热板面清洁、无尘，严格控制加热设定温度；
（3）根据不同管径，控制热熔对口压力、对接时间、冷却时间。
7、管子热熔焊缝不得低于管子表面，一般应高于管子表面2～3mm；焊缝不得出现缺陷接口，焊缝宽度不得超过规定平均宽度的20%。
8、管子焊接切口表面应平整、无毛刺；焊缝卷边应一致、美观，没有污物，焊接接口平滑、清洁。
9、管子热熔焊时的切换时间，应根据管子尺寸确定，对管外径小于等于250mm时，宜小于8s；管外径大于250mm时，不超过12s为宜。
10、管子热熔焊时的加热温度，应根据材质、管壁厚度等确定，对PE管一般为200～230℃，PP管一般为195～205℃。
11、管道安装时，应根据输送介质参数，合理设置支（吊）架，并应符合下列规定：
（1）支（吊）架形式、位置，应符合工程设计要求；
（2）支（吊）架不应设在管子接头、焊缝处，其净距应大于5cm；
（3）管道上阀门应可靠固定，宜以支架支承；支（吊）架与管子之间应填入橡胶类材料。
12、PE/PP管道安装后，应根据用途进行试验，一般应符合下列规定：
（1）用于承内压的管道，应进行压力试验，其试验压力为1.5倍工作压力，经检查以不泄漏、无异常为合格；若有严密性要求时，还应降至工作压力，保压30min，经检查不泄漏、无异常为合格；
（2）用于热流体输送时，还应进行热循环试验，以工作介质或建设方认可的介质，在工作温度及其低于工作温度下进行温度变化的试验，检查不泄漏、无异常为合格；
（3）用于常压的管道，应进行满水试验，以不泄漏、无异常为合格。

（六）PVDF管道安装

1、洁净厂房内PVDF管道采用热焊接法施工收。
2、施工中所采用的管材、附件等均已验收合格，符合设计要求，并做好记录。
3、焊接加工应在洁净工作小室内进行，加工完后在现场组装。安装施工所用机具、工具，应做到无尘、无油污。
4、PVDF管道施工作业人员应经培训合格后上岗，在作业过程应着规定的工作服或洁净服。
5、管道焊接应采用自动或半自动热焊机，应按管壁厚等，选用焊接设备型号、规格及配带的机具、工具。
6、管材、附件应密封包装，在未进行焊接加工或现场组装时，不得拆除外包装。管材、附件应平整地堆放在防雨、防晒的环境内。
7、施工现场应核查管材、管件、阀门的外观、规格尺寸、材质和出厂合格证明文件等。
8、管子切割应采用专用割刀，切口端面平整，无伤痕、无毛刺。
9、管子热焊接应符合下列要求：
（1）管子组对错位偏差，不得超过管子壁厚的10%；组对间隙应小于0.2mm；
（2）应保持热焊接加热板（模）清洁、无尘，严格控制所需的加热设定温度；
（3）根据管壁厚度，控制热焊的压力、温度和时间；
（4）不同管壁厚度的管道、附件不得对焊。
10、管子热焊接的焊缝应为均匀的双重焊道，双重焊道谷底应高出管子外表面，一般为管子壁厚的10%；双重焊道宽度应按管子壁厚确定，不得小于2mm。
11、管道安装后，应按下列规定进行强度试验、严密性试验；
（1）以1.5倍设计压力进行强度试验，试验介质为纯水或高纯氮气（99.999%），试验时间3.0h，不泄漏、不降压为合格；
（2）以设计压力的1.15倍进行严密性试验，试验介质为纯水或高纯氮气（99.999%），试验时间4.0h，以无泄漏，压力降小于3%为合格。
12、管子热焊时的熔融时间，应根据管子子尺寸确定，管径为13～100mm时，宜采用6～30S。
13、管道在焊接加工后，在现场安装时宜采用法兰连接，并应采用不锈钢螺栓。
14、管道安装时应根据输送介质参数，合理设置支架，并应符合下列规定：
（1）固定支架和支（吊）架形式、位置，应符合设计要求；
（2）支（吊）架不应设在管道伸缩节、接头或焊缝处，其净距应大于8cm；
（3）支（吊）架与管子之间应填入橡胶类材料；
（4）管道上阀门应可靠固定，一般应设有支架支承；
（5）当设计没有规定支（吊）架位置时，PVDF管可按下表设置支（吊）架。
PVDF管的支吊架间距（cm）
公称直径
使用温度
13
16
20
25
30
40
50
65
75
100
40℃
80
90
95
100
115
130
140
155
165
185
60℃
75
80
90
95
110
120
130
140
155
175
80℃
70
75
85
90
100
115
120
130
145
165
100℃
65
70
80
85
95
110
115
125
135
155
120℃
60
65
75
80
90
100
105
115
125
145

（七）PVC管道安装

1、洁净厂房内PVC管道应用法粘接施工。
2、施工中采用的管材、附件应为同一厂家产品，并符合工程设计要求；粘接所使用的胶粘接剂宜为配套供应或得到管材生产厂家的认可。并做好施工现场验收记录。
3、 管道粘接场所，严禁明火和吸烟；通风良好，集中操作场所应设排风设施。
4、PVC管材装卸、运输和堆放过程，不得抛投或激烈碰撞，应避免阳光曝晒。
5、PVC管道的粘接应符合下列规定：
（1）管道粘接场所应保持较低湿度、远离火源，环境温度应高于5℃；
（2）粘接前，管材、附件的承、插口表面，应做到无尘、无油污、无水迹；管子端面应做坡口，其坡口高度为2～3mm，并应四周均匀；
（3）粘接剂涂抹，应先涂承口、后涂插口，并重复2～3次；涂抹应迅速、均匀、适时；
（4）涂抹后应迅速粘接，插入深度达到规定值后保持20min；承插间隙不大于0.3mm。
6、管材的内外表面应光滑，无气泡、裂纹，管壁厚度均匀，色泽一致。直管段挠度不得大于1%。管件造型应规矩、光滑、无毛刺。承口有锥度，并与插口配套。
7、洁净室内PVC管道的安装，应符合下列规定：
（1）管材、附件搬入洁净室前，应擦拭干净；
（2）管材按图纸要求下料后再搬入洁净室；若必须在洁净室内切割时，应配备吸尘设施；
8、管道安装时，应根据输送介质及其参数，合理设置支（吊）架，并应符合下列规定：
（1）支（吊）架形式、位置，应符合工程设计要求；
（2）支（吊）架与管子之间，应填入软质绝缘物分隔；
（3）支（吊）架不应设在接头处，其净距应大于100mm。
9、管道安装后，应根据用途进行试验，并应符合下列规定：
（1）压力试验一般用清洁水，试验压力为1.5倍管内设计压力，保压30min不泄漏、无异常为合格；当输送介质不允许使用水进行试验时，可采用纯氮气（99.99%以上）进行压力试验，但应按规定采取防护措施，保压10min不泄漏、无异常为合格；
（2）严密性试验是在压力试验合格后，将压力降至1.1倍设计压力，保压1.0h无压力降。

（八）配管检验和试验

1、配管工程的检验和试验，应在施工单位自检合格的基础上进行。并按管道系统、检验批或分项工程的程序进行检验和试验，同时做好记录。
2、洁净厂房内各类金属管道的焊缝检验，应符合下列规定；
（1）输送剧毒流体的管道焊缝，应进行100%射线照相检验，其质量不得低于Ⅱ级；
（2）输送压力大于等于0.5MPa的可燃流体、有毒流体的管道焊缝，应进行抽样射线照相检验，抽检比例不得低于10%，其质量不得低于Ⅲ级。工程设计文件有规定时，应符合设计文件要求；
（3）射线照相检验方法和质量分级标准，应符合现行国家标准《现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范》GB 50236的规定。
3、各类金属管道系统安装完毕，无损检验合格后，应按下列规定进行压力试验：
（1）压力试验应以水为试验介质。当管道的设计压力小于或等于0.8MPa时，也可采用气体为试验介质，但应采取有效的安全措施；
（2）洁净厂房中，各种高纯气体管道和干燥压缩空气管道等，宜采用气体为试验介质，并应采取有效的安全措施；
（3）洁净厂房中，各种高纯物质输送管道的试验介质，应进行净化处理；
（4）压力试验的试验压力、试验方法等，应符合现行国家标准《工业金属管道工程施工及验收规范》GB 50235的相关规定。
4、洁净厂房中输送剧毒液体、有毒液体，可燃液体气和高纯气体的管道系统必须进行泄漏量试验；泄漏量试验应符合下列规定：
（1）泄漏量试验应在压力试验合格后进行，试验介质宜采用空气或氮气或氦气。对输送高纯气体的管道的泄漏量试验介质，宜采用纯度>99.999%的氮气或氦气；
（2）泄漏量试验压力应为设计压力；
（3）泄漏量试验时间，应连续试验24h（氮气）或1h（氦气）；
（4）泄漏量试验工作宜与系统调试结合进行。
（5）泄漏量试验，以平均每小时泄漏率不超过1%为合格。
5、洁净厂房中，各类真空管道的试验应符合下列规定：
（1）真空管道的压力试验，宜采用气压试验，试验压力为0.2MPa；
（2）压力试验合格后，真空管道应按设计文件规定进行24h的真空度试验，其增压率不得大于5%。
6、管道在进行试验、检验合格后，应根据设计要求对管路进行吹扫和清洗，管道的吹扫和清洗应符合设计要求，当设计无要求时，可参照现行国家标准《工业金属管道工程施工及验收规范》GB 50235的规定进行。

十、消防、安全设施安装

（一）一般规定

1、消防、安全设施的安装施工，应符合下列规定：
（1）安装施工单位应具有规定的资质和安装施工许可证；
（2）相关的土建工程已施工验收合格，并办理交接手续；
（3）应按工程设计文件和相关产品出厂技术说明文件的要求进行安装；
（4）安装前，应认真核查消防、安全产品制造单位的资质、制造许可证的真实性，并符合相关规定。
（5）安装前，应对所有设备、材料进行现场检查、检验，均应符合工程设计文件的要求。
8.1.2洁净厂房内的消防、安全设施的安装施工应遵守相关现行国家标准的规定。

十一、 电气设施安装

（一）一般规定

1、电气装置的施工安装应符合下列要求：
（1）电气装置安装工程相关的土建工程等己验收合格，并办理相关交接手续；
（2）施工安装应按照工程设计文件进行；
（3）所需的各种材料、线缆、配电盘（柜）、灯具、开关等已检验合格，并有相应的产品出厂合格证明和检验记录等。其型号、规格和性能等均应符合工程设计和合约的要求。
2、洁净室（区）内的电气装置和线管、线槽、桥架等宜采用暗装，一般应以装饰板进行防护，其外表面应平整、光滑，不产尘、积尘，易清洁。
3、电气装置安装工程的验收，应符合下列要求：
（1）应提交的资料、文件有：变更设计的证明文件，安装过程记录，隐蔽工程记录，测试记录，设备及照明的试运行记录和设备、材料的合格证明及进场检验记录等；
（2）隐蔽工程验收合格：
（3）设各及照明试运行，并验收合格；
（4）电气接地设施验收合格。

（二） 电气线路的安装

1、电气线路、线管、线槽、桥架等的位置、规格应符合设计文件要求。
2、电线管、电缆管、线槽、桥架的接地装置的施工及验收应符合现行国家标准《电气装置安装工程接地装置施工及验收规范》GB 50169的规定。
3、电气线路的线管、线槽、桥架穿越洁净室（区）的墙体、顶棚时，应采用气密构造，其接缝均应进行密封处理。
4、安装在洁净室（区）内装饰板内的电线、电缆宜采用穿管敷设，穿越装饰板处应进行密封处理。
5、电线、电缆穿管敷设时，穿管内不得设有接头，所有接头应设在配电箱或接线盒内。
6、电气配线采用三相五线制或单相三线制时，其绝缘导线的绝缘层颜色应采用不同颜色进行区分，不得采用相同颜色的绝缘层。
7、洁净室（区）内的配电盘（柜）、接线盒的配线施工安装时，应留有满足再次接线、调线的余量。

（三）电气设备的安装

1、配电盘（柜）、接线盒、插座箱和照明灯具等的位置、规格应符合设计文件要求。
2、电气设各的安装除遵守本节规定外，应符合现行国家标准《建筑电气工程施工质量验收规范》GB 50303的相关规定。
3、洁净室（区）内配电盘（柜）、接线盒、插座箱和照明灯具等电气设备，内外表面应平整、光滑、不积尘、易清洁，安装后应进行擦拭、无尘；
4、洁净室（区）内配电盘（柜）的安装，应符合下列规定：
（1）嵌入式安装的配电盘（柜）与墙体之间的接缝应进行密封处理；
（2）嵌入式、挂墙式盘（柜）的安装高度应符合工程设计文件要求，其底标高不宜低于1.2m.
5、洁净室（区）内嵌入式安装的接线盒、插座箱墙体之间的接缝应进行密封处理。
6、照明灯具、开关的安装，应符合下列要求：
（1）洁净室（区）内嵌入式安装的灯具与顶棚之间应进行密封处理；
（2）照明灯具采用吸顶安装时，灯具与顶棚之间宜采用气密性垫片密封，并在接缝处涂以密封胶：
（3）泪珠灯安装时，应在进线处进行密封处理；
（4）嵌入式安装的开关盒，其面板应紧贴墙面，接缝处宜涂密封胶。
7、洁净室（区）内的配电盘（柜）内的配线应做到横平竖直、色别正确、标志齐全、连接可靠。
8、洁净室（区）内的接线盒、插座箱的安装应端正，并符合设计要求，设计无要求时，安装高度宜为1.0-1.

（四）防雷及接地设施的安装

1、防雷设施的安装和接地体、接地线的位置、规格等，应符合工程设计文件的要求。
2、接地体与接地线或接地线与相关设备、插座的连接，宜采用焊接或镀锌螺栓可靠连接。
3、接地设施的安装除遵守本节规定外，应符合现行国家标准《电气装置安装工程的接地装置施工及验收规范》GB 50169的规定。
4、接地体的施工安装，应符合下列规定：
（1）接地体及其引出线和焊接部位，应进行表面除锈、去除污物和残留焊渣，井进行防锈处理：
（2）接地体埋设深度应符合工程设计文件的要求，井不得小于1.6m;
（3）以角钢、钢管等制作的接地体，应采用垂直设置；
（4）垂直接地体之间的距离，不宜小于2倍接地体长度：水平接地体之间的距离不宜小于5m。
5、接地线的施工安装，应符合下列规定：
（1）接地线穿越洁净室墙体、顶棚和地面处，宜采用套管，并应进行密封处理；
（2）明敷的接地线不应妨碍设备的安装、维修，并便于检查；
（3）在易发生明敷接地线损伤的场所，其接地线应采取保护措施：
6、接地体的施工安装，还应符合下列规定：
（1）接地体经检测，其接地电阻应符合工程设计文件要求；作好隐蔽工程记录后，进行回填；
（2）接地体的回填土不得对其有腐蚀，并不得夹杂石块和建筑垃圾等。
7、接地线的施工安装，还应符合下列规定：
（1）在洁净室（区）内明敷的接地线与建筑墙体、顶棚之间的间隙宜为10-15mm，与地面之间距离宜为250-300mm；
（2）接地线跨越建筑物的伸缩缝、沉降缝时，应设置补偿器；
（3）明敷接地线应作标识。

十二、噪声控制设施的

（一）一般规定

1、噪声控制设施宜与建筑装饰、净化空调系统、排风系统等设施同步安装施工。
2、噪声控制设施的安装施工，应符合下列要求：
（1）应按工程设计文件和设备、材料技术说明书进行安装；
（2）各种设备及其附件、材料均己进行现场检查、检验，且符合工程设计文件或合约要求，并进行记录。

（二）噪声控制设施安装

1、消声器、隔声罩等噪声控制设备安装前，应按工程设计文件和产品说明书或合约的规定，检查其完整性、严密性、规格尺寸等，并作好记录。
2、消声器的安装应符合下列规定：
（1）安装位置、方向正确，与风管（或配管）的连接严密，不得有损坏与受潮。两组同类型的消声器不应直接串联；
（2）现场安装的组合式消声器，其组件的排列、方向和位置应符合设计要求；单个消声器组件应可靠固定；消声器应设独立支吊架。
3、隔声罩、隔声室的安装应符合下列规定：
（1）安装位置、方向正确，与主体设备、结构的连接应严密，并可靠固定；
（2）检查门、观察窗和通风装置等应严密，无损坏或异常；活动部件灵活，符合设计要求；
（3）隔声材料均匀满布，不得有损坏或外露。
4、洁净厂房内吸声设施的施工安装，应符合下列规定：
（1）吸声设施（包括墙体、顶棚或地面）的构造、材质和规格尺寸均应符合设计要求；
（2）洁净室（区）内的吸声设施，应表面光滑、易清洁、不起尘。
5、消声器的安装，还应符合下列要求：
（1）消声器安装前应保持干净，做到无油污和浮尘；
（2）消声器、消声弯管的安装均应设独立的支（吊）架。
6、隔声罩、隔声室的安装，应符合下列要求：
（1）安装前应保持清洁，做到无油污和浮尘；
（2）安装后应对内、外表面进行擦拭，保持清洁、无尘。
7、洁净厂房内吸声设施的施工安装，应符合下列规定：
（1）吸声设施的表面应符合设计要求；
（2）吸声材料不得有损坏或明显的外露。

十三、特种设施的安装

（一）一般规定

1、特种设施的安装施工，应符合下列规定：
（1）相关的土建工程己验收合格，并办理交接手续；
（2）应按工程设计文件和相关设备出厂技术说明要求进行安装；
（3）各种设备及其附件、材料（包括填充材料）已进行现场检查、检验，并应符合工程设计和设备技术要求。认真并进行进场记录。
2、对气密性、渗漏性控制严格的特种设施的设备、附件等，安装前应严格检查密封状况，若发现异常，应与供货商共同检查，经确认不影响使用功能后才能进行安装。
3、对特种设施的承压设备、附件，应具有压力试验、无损探伤等有效检验合格文件。无合格文件者，不得进行安装。
4、有爆炸危险或有毒的气体、液体、有机溶剂等相关的设备、附件，应具有有效检验的合格文件，不符合规定者不得进行安装。
5、分类、分系统进行安装质量验收，一般宜与供应系统的试运转结合进行。
6、有防静电接地要求的设施，在安装就位或系统管道安装完成后进行可靠接地。

（二）高纯气、特种气体供应设施的安装

1、管路系统的试运转应包括管路吹扫、气密性、泄漏性试验和纯度测试。
2、高纯气体、特种气体供应设施安装前，应按工程设计文件和产品说明书或合约的要求，检查设备（包括填充的纯化材料等）、阀门和管件的完整性、密封性，并作检查记录。
3、纯化设备、特气柜的搬运、就位应符合下列规定：
（1）搬入洁净室（区）前，应进行认真的清洁，符合要求后从规定的设备搬入口运入；
（2）整体设备搬运时，应按设备的构造、管道及阀门等附件的配置状况安全运输，不得倒置，并可靠固定；
（3）设备就位时，应按工程设计文件和产品说明书要求，准确做好接管、接线定位；
（4）就位后，水、电接口应按工程设计文件要求连接；
（5）气体管道接口，应在分系统的气体输送管道安装试运转合格后才能连接。
4、高纯气体、特种气体系统的阀门箱、吹扫盘的安装，应符合下列要求：
（1）检查箱体及箱内阀门、仪表和附件的完整性、密封性和合格证书等，并作好记录；
（2）安装位置应按工程设计文件、产品说明书要求进行，并检查接管、接线方位的正确性；
（3）气体管道接口，应在所在系统试运转合格后才能连接。
5、高纯气体、特种气体设施施工安装试运转的纯度测试，应符合下列要求：
（1）纯度测试介质，宜采用工作气体进行；
（2）测试气体的压力，宜与输送介质的设计压力相同；
（3）测试气体的检测取样口或排气接口，应设在供气系统中要求气体纯度及其杂质含量最严格且距离最长的用气设备处；
（4）纯度测试过程，取样时间的间隔宜为4h左右；气体样品应采用与输送介质纯度及允许杂质含量相应的精度等级的仪器进行分析；
（5）当测试气体的进、出口的纯度及其杂质含量（一般以氧痕量浓度、水痕量浓度为代表）一致时，即认为纯度测试合格。
6、管路系统的试验应符合下列要求：
（1）高纯气体、特种气体供应设施的强度试验、气密性试验和泄漏量试验及试验压力，均应按工程设计文件要求；
（2）试验气体宜采用无油干燥压缩空气或纯氮或氦气；试验气体压力按规定逐步升至系统强度试验压力后，保持10min，然后降压至气密性试验压力，检查接口、焊缝是否泄漏，以不漏为合格；
（3）气密性试验合格后，进行泄漏量试验，试验气体为纯氮或无油干燥压缩空气时，系统以设计压力保持24h，检查泄漏率不超过0.5％为合格。采用氦气为试验气体时，系统以设计压力保持1h，检查泄漏率不超过0.5％为合格。若不合格，检查原因并进行完善后，再进行泄漏量试验，直至合格为止；
（4）管路系统的试验，一般均不包含纯化设备、特气柜和阀门箱等。
7、管路吹扫应符合下列要求：
（1）应按气体品种、工作参数分系统分别进行吹扫；
（2）管路系统应采用0.3.0.5MPa的无油干燥压缩空气或纯氮进行吹扫，吹扫气体应设置过滤精度严于0.31tm气体过滤器去除微粒；对输送可燃气体的管路宜采用纯氮吹扫；
（3）在管路系统吹扫气体排出口设靶检查，以靶上未见微粒为合格；对输送可燃气体的管路系统，应以排出口吹扫气体中含氧量小于1％为合格。

（三）纯水供应设施的安装

1、纯水供应设施安装前，应按工程设计文件和产品说明书或合约的要求检查、核对设备（包括填充的材料、元件等）、阀门和管件的完整性、密封性，并作好检查、核对记录。
2、纯水管道及其阀门、附件的材质，应按工程设计文件和产品生产要求进行选择。
3、单体设备的搬运、就位应符合下列要求：
（1）搬入洁净室（区）内的单体设备，应进行认真清洁后才能搬入；
（2）装有填料或元件的单体设备，应按要求的方向进行搬运、就位，不得倒置；
（3）单体设备就位时，应按工程设计文件和产品说明书要求，正确进行定位。
4、洁净室（区）内纯水末端处理设备的安装，应符合下列要求：
（1）纯水管道接管，应在纯水系统安装后经试验及试运转合格后连接；
（2）接管、接线后，应按工程设计文件和产品说明书进行试运转。
5、药品和保健品等生产用纯水系统的安装，应符合下列要求：
（1）根据使用特点和工程设计文件要求，准确选择管路材质、阀门、附件，并不得对水质产生污染和引起腐蚀或损伤；
（2）系统安装完成后，按规定进行试验、试运转，合格后按使用要求进行清洗或消毒灭菌，达到规定指标后，宜循环待用。
6、管道系统的试验、试运转，应符合下列要求：
（1）管道系统的试验应按工程设计文件要求进行水压试验。
（2）管道系统的试验、试运转，通常不包括末端处理装置等；
（3）试验合格后，以同等水质的纯水进行清洗，直至在管路末端无杂质、污染物为合格；
（4）有特殊要求的纯水系统，应按设计要求进行脱脂、清洗、钝化、合格后，并按规定进行消毒灭菌，
（5）纯水水质试验，以本系统同样水质的纯水进行试验，水质分析采样日应为水质要求最严格且距离最长的用户末端处：取样时间间隔为2-4h，以系统的始端、末端的水质相同为合格。
7、管道清洗应符合下列要求：
（1）管道清洗先以清洁水冲洗，末端检查无杂物后，以同等水质的纯水清洗；
（2）清洗时，应关断所有接至单体设备的阀门，管道系统的过滤器滤芯应卸下，待清洗合格后原样恢复。

（四）化学品供应设施的安装

1、本节适用于洁净厂房中工业产品生产所需的酸、碱、有机物质等化学品供应设备、输送管路系统的安装施工质量验收。
2、化学品供应设施安装前，应按设计文件和产品说明书的要求或合约规定检查设备、容器、阀门和附件的完整性和密封性等，并作检查记录。
3、化学品供应设施中的各类泵的安装施工应符合现行国家标准《压缩机、风机、泵安装工程施工及验收规范》GB 50275的规定。
4、洁挣室（区）内化学品输送管道系统的阀门箱等的安装，应符合下列要求：
（1）检查箱体及箱内阀门、仪表和附件的完整性、密封性和合格证书，并作好检查记录；
（2）就位安装应按工程设计文件、产品说明书要求进行，并检查接管、接线方位的正确性；
（3）各种管道的连接，应在所在系统吹扫或清洗合格后进行。
5、化学品供应设施的容器、管道及其阀门、附件的材质，应符合工程设计文件要求。
6、容器的搬运、安装就位，应符合下列要求：
（1）搬入洁净室（区）前，应进行清洁，符合要求后从规定的搬入口运入；
（2）容器搬运，应根据容器结构、规格尺寸及接管配置状况，进行可靠的固定，不得倒置；
（3）就位前，检查基础平整度、高度，基础表面的水平度不得大于2%，标高偏差不大于2mm；
（4）容器各接管中心与基础面上的基准线对准、测量，其允许偏差为3mm；
（5）容器安装就位后的垂直度，不应大于2‰。
7、化学品供应设施的低碳不锈钢管、PE管、PVDF管等的管道系统安装施工见相关规定。
8、管道吹扫或清洗，应符合下列要求：
（1）按各种化学品供应系统，分别在安装完成后分系统进行吹扫或清洗；
（2）吹扫或清洗宜采用干燥压缩空气或纯氮或清洁水，吹扫介质压力为0.2-0.3MPa：吹扫管道应设置过滤精度严于0.单m的过滤器；
（3）吹扫清洗时，应关断所有接至各类容器的阀门；管道系统的过滤器滤芯，流量计应卸下，待吹扫后按原样恢复；
（4）各系统的吹扫应反复多次冲击进行，吹扫时间不宜少于2.0h，并以湿的白色滤纸或白布或涂有白色漆的靶板放在吹扫气排出口，经5min后检查微粒状况。不合格时，继续吹扫，直至合格。
9、管道系统的试验、试运转应符合下列要求：
（1）管道系统的试验应按工程设计文件要求进行强度试验、气密性试验，金属管道的试验方法参照现行国家标准《工业金属管道工程施工及验收规范》GB 50235的规定进行；
（2）管道系统的试验、试运转，通常不包括各类容器、泵类等设各；
（3）承压管道应进行强度和严密性试验，强度试验的试验压力为设计压力的1.5倍，严密性试验的试验压力为设计压力的1.15倍。非承压管道应进行满水试验；
（4）试验合格后，以纯水或氮气进行清洗吹扫，直至末端无杂质、污染物为合格。

十四、工程验收

（一）一般规定

1、洁净厂房工程施工完成后应进行工程验收，划分为竣工验收、功能验收、使用验收。以确认各项性能参数符合设计、使用和相关标准规范的要求。
2、竣工验收应由建设单位负责，组织施工、设计、监理等单位进行验收。
3、功能验收应在竣工验收完成后进行，由建设单位负责，并由具有相应检测资质的第三方进行检测。设计、施工单位配合。
4、使用验收应在功能验收完成后进行，由建设单位负责，可由具有相应检测资质的第三方或由建设单位与第三方共同进行测试。设计、施工单位配合。
5、洁净厂房工程验收的检测状态分为空态、静态和动态。竣工验收阶段的检测宜在空态下进行；功能验收阶段宜在空态或静态下进行．应由建设方、设计方和施工方协商确定，宜在静态下进行；使用验收阶段的检测应在动态下进行。

（二）洁净厂房的测试

1、洁净厂房的工程验收中，在进行各项性能检测之前，净化空调系统应正常运行24h以上．达到稳定运行状态。
2、检测用仪器仪表均应经过具有相应资质的单位进行标定，并在标定有效期内。
3、洁净厂房测试应按工程验收阶段分段进行。竣工验收阶段的检测是确认各项设施符合工程设计和合同的要求；功能验收阶段的检测是确认各项设施均能有效、可靠的运行；使用验收阶段的检测是按建设方规定的生产工艺和“动态”活动要求，确认各项设施的有效、可靠的运行。
4、洁净厂房性能测试项目见下表：
表14.2.4洁净厂房性能测试项目
序号
测试项目
单向流
非单向流
1
空气洁净度等级
检测
检测
2
风量
检测
检测
3
平均风速
检测
n
4
风速不均匀度
必要时测
n
5
静压差
检测
检测
6
过滤器安装后的检漏
检测
检测
7
超微粒子
必要时测
必要时测
8
宏粒子
必要时测
必要时测
9
气流目测
必要时测
必要时测
10
浮游菌、沉降菌
必要时测
必要时测
11
温度
检测
检测
12
相对湿度
检测
检测
13
照度
检测
14
照度均匀度
必要时测
15
噪声
检测
16
微振动
必要时测
17
静电测试
必要时测
18
自净时间
n
检测
19
粒子沉降测试
必要时测
20
密闭性测试
检测
n
注：n表示不检测
5、空气洁净度等级的检测是对粒径分布在0.1μm至5.0μm之间的悬浮粒子的粒径和浓度进行测试，空气洁净度等级应符合设计和建设方的要求。
6、根据生产工艺要求，应进行洁净室内浮游菌、沉降菌的检测。
7、风量和风速的测试，对单向流洁净室的送风量是以测试的平均送风速度乘以送风截面积确定；非单向流洁净室的送风量可采用直接测试或测出风口风速乘以出风截面积确定。单向流洁净室以送风平均速度、非单向流洁净室以送风量计算得到的换气次数。
8、压差测试，为检验洁净室（区）与其周围环境之间的规定静压差，应在洁净室（区）的风速、风量和送风均匀性检测合格后进行静压差测试。
9、已装空气过滤器的检漏，为检验洁净室（区）的高效空气过滤器的完好性和安装质量，在安装后的空气过滤器的上游侧引入测试气溶胶，并及时在送风口和过滤器周边、外框与安装框架之间的密封处进行扫描检漏。检漏测试可在“空态”或“静态”进行。
10、为确认洁净室（区）的气流流型和气流方向，在上述检测达到要求后进行气流流型检测。
11、为确认净化空调系统对洁净室（区）的温度、相对湿度的控制能力，应在净化空调系统连续、稳定运行后进行检测，达到设计要求。
12、对于空气洁净度等级严于5级的洁净室（区），应对围护结构进行密闭性测试，以确认有无被污染的空气从相邻洁净室（区）或非洁净室（区）通过吊顶、隔墙或门窗渗漏进入洁净室（区）。
13、洁净室（区）内的噪声测试，应在“空态”或与建设单位协商的状态下进行检测，室内噪声达到标准规定值。
14、洁净室（区）的照度测试，应在室内温度稳定和光源光稳定状态下进行，室内照度值达到设计要求。
15、对于非单向流洁净室，应进行自净时间的检测。
16、当洁净厂房中设有需微振控制的精密设备仪器时，应对微振控制设施的建造质量进行检测，达到设计要求。
17、根据生产工艺要求，应对洁净室（区）的地面、墙面和工作台面的表面导静电性能进检测数量：按房间或区域，全数检查。
18、洁净厂房的每项测试，均应编写测试报告，其主要内容有；
（1）测试单位的名称、地址，测试人和测试日期；
（2）所测设施名称及毗邻区域的名称和测试的位置、座标；
（3）设施类型及相关参数；
（4）测试项目的性能参数、标准，包括占用状态等；
（5）所采用的测试方法、测试仪器及其相关的说明文件；
（6）测试结果，包括测试记录、分析意见；
（7）结论。

（三）竣工验收

1、洁净厂房的竣工工验收，是在各分部单机试车，无生产负荷系统试车自检合格后进行。竣工验收的内容是对各分部工程的单机试车和无生产负荷系统试车的核查，洁净室（区）性能参数检测和调试、各分部观感质量核查，建设方要求的检测和调试内容。
2、洁净厂房竣工验收时，应认真检查竣工验收的资料，一般包括下列文件及记录：
（1）图纸会审记录、设计变更通知书和竣工图；
（2）各分部工程的主要设备、材料和仪器仪表的出厂合格证明及进场检验报告；
（3）各分部工程的单机设备、系统安装及检验记录；
（4）各分部单机试运转记录；
（5）各分部工程、系统无负荷试运转与调试记录；
（6）各类管线试验、检查记录；
（7）各分部工程的安全设施的检验和调试记录；
（8）各分部工程的质量验收记录。
3、洁净厂房内各分部工程的观感质量核查。
4、各分部工程的各类设备单机试车的核查，应符合本规范5～12章的相关规定。
5、各分部工程的各类系统的单机试车核查合格后，应进行无生产负荷的稳定运行核查。
6、洁净厂房竣工验收的主要测试内容，一般应包括如下测试：
（1）气流目测；
（2）风速和风量测试；
（3）空气过滤器的检漏；
（4）洁净室（区）的密闭性测试；
（5）房间之间的静压差测试；
（6）空气洁净度等级；
（7）产品生产工艺有要求者，应进行微生物测试或化学污染物测试或特殊表面的洁净度测试；
（8）自净时间；
（9）温度、相对湿度；
（10）照度值；
（11）噪声级；
（12）其他建设方需要进行的检测项目。
7、洁净厂房竣工验收后，应由施工方编写竣工验收报告，其主要内容上述外还有：
（1）观感核查记录；
（2）分项测试记录及分析意见（包括测试点位置、座标等）；
（3）测试仪器的有效校验证书；
（4）结论。

（四）功能验收

1、洁净厂房的功能验收是经过规定的检测和调试，确认洁净室（区）功能参数都能有效的满足产品生产运行的要求。
2、洁净厂房的竣工验收合格，并经核实批准后，按建设方要求进行功能验收，功能验收的主要测试内容，一般应包括如下测试：
（1）检测空气洁净度等级；
（2）生产工艺有要求者，还应进行微生物测试或化学污染物测试或特殊表面的洁净度测试；
（3）洁净室（区）的温度、相对湿度的稳定性测试；
（4）检测自净时间；
（5）检测洁净室（区）的密闭性测试；
（6）测定照度；
（7）测定噪声级；
（8）需要时，确认和记录气流形式和换气次数；
（9）建设方需要进行的其他检测项目。
3、洁净厂房的功能验收后，应由建设方或建设方委托的相关单位编写验收报告，其主要内容有：
（1）洁净厂房中各种设施的开启状态描述；
（2）分项测试记录及分析意见（包括测试点位置、座标等）；
（3）测试仪器的有效校验证书；
（4）结论。

（五）使用验收

1、洁净厂房的使用验收是在建设单位规定的使用状态下进行检测和调试，确认洁净室（区）的动态性能参数都能有效的满足使用要求。
2、使用验收的主要检测内容，一般应包括如下测试：
（1）检测空气洁净度等级；
（2）生产工艺有要求者，还应进行微生物测试或化学污染物测试或特殊表面的洁净度测试；
（3）温度、相对湿度的稳定性测试；
（4）确认洁净室（区）的密闭性能；
（5）建设方需要进行的其他检测项目。
3、洁净厂房使用验收后，应由建设方或建设方指定的相关单位编写使用验收报告，其主要内容有：
（1）洁净厂房中各种设施（包括生产工艺设备）等的开启状态描述；
（2）测试的洁净室（区）人员及其活动情况的描述；
（3）分项测试记录及分析意见（包括测试点位置、座标等）；
（4）测试仪器的有效校验证书；
（5）结论。

十五、洁净室性能测试

（一）测试项目的选择和实施顺序

1、性能测试项目和顺序的选择，参照国际标准《洁净室及相关受控环境，第3部份：检测方法》，ISO14644-3中相关要求，根据具体工程的规模、空气洁净度等级、产品生产工艺要求及布置情况、净化空调系统等因素确定，并应由建设方、施工方协商一致填写下表：
性能测试项目清单和测试顺序
选择测试
顺序
测试内容
测试程序参照条款
选择测试仪器
测试仪器
#□
悬浮粒子
C.1
□
离散粒子计数器
#□
悬浮超微粒子计数
C.12
□
凝结核粒子计数器
□
离散粒子计数器
□
粒径屏蔽装置
#□
悬浮宏粒子与计数
C.13


#□
悬浮宏粒子采集与计数
C.13.2
□
显微镜测量采样滤纸
□
梯级冲撞器
#□

C.13.3
□
离散粒子计数器
#□
悬浮宏粒子计数无采

□
飞行时间粒子仪
#□
气流
C.4


#□
单向流设施的风速测量
C.2.2.1
□
热风速计
□
超音速风速计（3维或相当3维）
□
旋翼风速计
□
皮托管与压力计
#□
非单向流设施的送风风速测量
C.2.3
□
热风速计
□
超声风速计（3维或相当3维）
□
旋翼风速计
□
皮托管与压力计
□
一体式风量罩
#□
过滤器下风向总风量测量
C.2
□
文氏管计
□
孔流速计
□
皮托管与压力计
#□
送风管风量测量
C.2
□
一体式风量罩
□
文氏管计
□
孔流速计
□
皮托管与压力计
#□
压差
C.3
□
电子微压计
□
斜式压力计
□
机械式压差计

过滤器安装后检漏
C.4


#□
过滤器系统安装后泄漏扫描
C.4
□
线性气溶胶光度计
□
对数气溶胶光度计
□
离散粒子计数器
□
气溶胶发生器
□
气溶胶液
□
稀释系统
□
凝结核计数器
#□
安装在风管与空气处理机上的过滤器之测试
C.4
□
线性气溶胶光度计
□
对数气溶胶光度计
□
离散粒子计数器
□
气溶胶发生器
□
气溶胶液
□
稀释系统
□
凝结核计数器
#□
气流方向和目检
C.5
□
气溶胶发生器
□
示踪剂
□
热风速计
□
3维超声风速计
□
气溶胶发生器
#□
温度
C.6


#□
一般温度
C.6.2.1
□
玻璃温度计
□
数字温度计
#□
综合温度
C.6.2.2
□
玻璃温度计
□
数字温度计
#□
湿度
C.7
□
湿度监测器（电容性）
□
湿度监测器（毛发式）
□
露点传感器
□
智能记录仪

静电与离子发生器
C.15


#□
静电
C.15
□
压电电压计
□
高阻计
□
充电板监测器
#□
自净时间
C.11
□
离散粒子计数器
气溶胶发生器

密闭性检测
C.8


#□
离散粒子计数器法

□
离散粒子计数器



□
气溶胶发生器



□
稀释系统
#□
光度计法

□
光度计



□
气溶胶发生器
#□
噪声
C.9
□
倍频程声级计



□
声级计
#□
照度
C.10
□
照度计
#□
浮游菌、沉降菌
C.16
□
培养皿



□
培养基



□
采样器
注：1测试可在第1列的格中按所选择的测试项目编号。
2在第4列中，测试可按所选的测试方法选择测试仪器。

（二）测试方法

A、空气洁净度等级测试
1、本节提出的空气洁净度等级测试，主要是参照国际标准《洁净室及相关受控环境，第1部份：空气洁净度分级和第3部份：检测方法》，ISO14644-1和ISO14644-3，并结合我国目前的实际进行制定。
2、空气洁净度等级的测试一般采用粒子计数器，采样量应大于1L/ min。测试粒径大于等于0.5μm粒子时，宜采用光散射粒子计数器；测试粒径大于等于0.1的粒子时，宜采用大流量激光粒子计数器（采样量每分钟28.3L）；测试粒径小于0.1μm的超微粒子时，宜采用凝聚核激光粒子计数器。
3、采样点确定
（1）应按下式计算最少采样点
式中——最少采样点，四舍五入取整数；
——洁净室（区）的面积。在水平单向流时，指与气流方向垂直的流动空气的截面积。以mm计。
（2）采样点应均匀分布于洁净室（区）的面积内，并位于工作区高度。

4、每次采样的最少采样量
（1）每个采样点的每次采样量（VS）应按下式计算：
式中：——被测洁净室（区）空气洁净度等级被测粒径的允许限值（个/m3）；
20——在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时，可检测到的粒子数。
（2）每个采样点的采样量至少为2L，采样时间最少为1min，当洁净室（区）仅有1个采样点时，则在该点至少采样3次。
当Vs很大时，采样时间会很长，可参照采用ISO14644-1附录F中规定的顺序采样法。
5、对于单向流洁净室，采样口应对着气流方向，对于非单向流洁净室，采样口宜向上。采样速度宜接近室内气流速度。
6、室内测试人员必须穿洁净服，不得超过3人，应位于测试点下风侧并远离测试点，并应保持静止。进行换点操作时动作要轻，应减少人员对室内洁净度的干扰。
7、每个采样次数为2次或2次以上的采样点，应按式C.1.7计算平均粒子浓度。
式中：——采样点i的平均粒子浓度，i可代表任何位置；
——每次采样的粒子浓度；
n——在采样点i的采样次数。
8、采样点为1个时，应按式C.1.7计算该点平均粒子浓度。采样点为10个或10个以上时，按式C.1.7计算各点的平均浓度后，再按式C.1.8计算洁净室（区）总平均值。
（C.1.8）
式中：——各采样点平均值的总平均值；
——按式C.1.7计算的各个采样点的平均值，既洁净室（区）总平均值；
m——采样点的总数。
9、置信上限（UCL）的计算
（1）当采样点只有1个或多于9个时，不计算95%置信上限。
（2）采样点为1个以上10个以下时，根据式C.1.8计算出各采样点平均值和总平均值后，还应按式C.1.9.1计算出总平均值的标准偏差（S）。
（C.1.9-1）
（3）最后按式B.1.9-2计算出总平均值的95%置信上限（UCL）。
（C.1.9-2）
式中t——分布系数，见下表：
95%置信上限（UCL）的t分布系数
采样点数（m）
2
3
4
5
6
7～9
t
6.3
2.9
2.4
2.1
2.0
1.9
（4）如果每个采样点测得粒子浓度的平均值以及洁净室总平均值95%置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值，则认为该洁净室（区）已达到规定的空气洁净度等级。
如果测试结果未能满足规定的空气洁净度等级，可增加均匀分布的新采样点进行测试，对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算的结果，作为最终检验结果。
B、风速和风量测试
1、风速测试仪器可使用热球式风速计、超声风速计、叶片式风速计等；风量测试可使用带流量计的风罩、文丘里流量计、孔板流量计等。
2、单向流设施的截面风速、面风速和风量测试
（1）对单向流设施的风速测试，应将测试平面垂直于送风气流，该测试平面距离高效空气过滤器出风面150～300mm，宜采用300mm。将测试平面分成若干面积相等的栅格，栅格数量不少于测试截面面积（m2）10倍的平方根，测点在每个栅格的中心，全部测点不少于4点。
直接测量过滤器面风速时，测点距离过滤器出风面为150mm。将测试面划分为面积相等的栅格，每个栅格尺寸为600mm×600mm或更小，测点在每个栅格的中心。
每一点的持续测试时间至少为10秒，记录最大值、最小值和平均值。
单向流洁净室（区）的总送风量（Qt），应按式（C.2.2）计算：
Qt=Σ（VCP×A）×3600（m3/h）（C.2.2-1）
式中：VCP——每个栅格的平均风速（m/s）；
A——每个栅格的面积（m2）。
（2）对单向流设施的风速分布测试，一般选取工作面高度为测试平面，平面上划分的栅格数量不少于测试截面面积（m2）的平方根，测点在每个栅格的中心。
风速分布的不均匀度β０按下列公式计算，一般不应大于０.25
β０= s/v（C.2.2-2）
式中v——各测点风速的平均值；
s——标准差。
风速分布测试宜于空态测试，当安装好工艺设备和工作台时，在其附近测得的数据可能不能反映洁净室本身的特点。若需测试时，风速分布测试要求应由建设方、测试方协商确定。

3、对非单向流设施的风速、风量的测试
（1）风口法测试风速、风量
在每个测点的持续测试时间至少为10秒，以得到有代表性的平均值。每个空气过滤器或送风散流器的风速、风量测试，可参照C.2.2.1中面风速及风量的测试和计算方法。
（2）风管法测试风量
对于高效空气过滤器或散流器风口上风侧有较长的支风管段，且已有预留孔时，可以采用风管法测试风量，测量断面应位于大于或等于局部阻力部件前3倍管径或长边长和局部阻力部件后5倍管径或长边长的部位。
矩形风管的测试断面，应划分为若干个相等的小截面，每个小截面宜为正方形，边长不应大于200mm，测点位于小截面中心，但测点数不少于3点；园形风管的测试断面，应根据管径大小划分为若干个面积相同的同心园环，每个园环测4点，园环数不宜少于3个。
（3）风罩法测试风量，使用带有流量计的风罩测量空气过滤器的送风量时，风罩的开口应全部罩住空气过滤器或散流器，风罩面应固定在平整的平面上，避免空气泄漏造成读数不准确。
若在高效空气过滤器或散流器风口的上风侧已安装有文丘里或孔板流量装置时，可利用该流量计直接测量风量。
C、静压差的测试
1、静压差的测试可采用电子压差计、斜管微压计或机械式压差计。
2、在进行静压差检测之前，应确定洁净室送、排风量均符合设计要求。
3、静压差测试时应关闭洁净区内所有的门，从洁净区最里面的房间开始向外依次检测。检测时应注意使测试管的管口不受气流影响。
D、已装空气过滤器的检漏
1、高效空气过滤器安装后的检漏是确认安装质量，检测高效空气过滤器送风口的整个面、过滤器的周边、过滤器外框和安装框架之间的密封处。检漏时，从过滤器的上风侧引入测试气溶胶，并立即在其下风侧进行检测。该项测试一般在洁净室（区）的“空态”或“静态”进行。
2、高效空气过滤器安装后的检漏方法有光度计法和粒子计数器法。光度计法一般用于带小型空气处理系统的洁净室或安装有气溶胶注入点的管路系统，可达到规定的高浓度测试气溶胶；由于粒子计数器法的灵敏性好和污染少，一般都采用粒子计数器法进行高效空气过滤器安装后的检漏。
3、采用光度计法进行扫描检漏时，被测试的过滤器的最高穿透粒径的穿透率等于或大于0.005%。所采用的测试气溶胶不应对洁净室（区）内的产品或工艺设施带来影响。
在进行光度计法检漏前，被测试过滤器应在额定风速的80%至120%与之间运行，并确认其送风的均匀性。
被测试过滤器的上风向引入的气溶胶的浓度应为10mg/m3至100 mg/m3。浓度低于20 mg/m3时，将会降低检漏的灵敏度，而浓度高于80 mg/m3时，若长时间测试会造成过滤器的污堵。在过滤器检漏前应确认气溶胶的浓度和均匀性。
检漏扫描时，若采用3cm×3cm方形探管，扫描速度不得超过5cm/s，矩形探管的最大面积扫描率不得超过15C┫/s。在扫描过程中，若显示有等于或大于限值的泄漏时，则应将探管停留在泄漏处。高效空气过滤器的泄漏限值是指超过上风向测试气溶胶浓度10-4的泄漏，或与业主协商确定。
4、采用粒子计数器法进行扫描检漏时，被测试的空气过滤器最高穿透粒径的穿透率大于或等于0.00005%。不允许采用可能沉积在过滤器或管道上的挥发性油光尘的测试用气溶胶。
在进行粒子计数器检漏前，被测试过滤器应在额定风速的70%至130%之间运行，并确认其送风的均匀性。
检漏扫描时，采样口距离被测部位应小于5.0cm，以0.05m/s的速度移动。空气高效过滤器下风侧测试得到的泄漏浓度换算的透过率，不得大于该过滤器出厂合格透过率的3倍。
5、安装在管道或空气处理机内的高效空气过滤器的检漏，检测可采用光度计法或粒子计数器法。用于安装在管道或空气处理机内的最易穿透粒径的穿透率大于0.005%的高效空气过滤器的检漏。
检漏时，被检测过滤器就在设计风速的70%~130%之间运行，并确认其送风均匀性。上风向引入的大气尘或气溶胶浓度应能满足在下风向测试得到具有统计意义的读数。
测试时，应将采样口距离被测部位30cm至100cm处，在管道中应距管壁2.5cm，记录实测的含尘浓度。
高效空气过滤器检漏的限值，采用光度计法时，不得超过10-4（0.01%）；采用粒子计数器法时，不得大于出厂合格透过率的3倍。
E、气流流型的检测
1、气流流型的检测包括气流目测和气流流向的测试。气流目测可采用示踪线法、发烟（雾）法和采用图像处理技术等方法。气流流向的测试一般采用示踪线法、发烟（雾）法和三维法测量气流速度等方法。
2、采用示踪线法时可采用尼龙单丝线、棉线、薄膜带等轻质纤维，放置在测试杆的末端，或装在气流中细丝格栅上，直接观察出气流的方向和因干扰引起的波动。
3、采有发烟（雾）法时，可采用去离子水，用固态二氧化碳（干冰）或超声波雾化器等生成直径为0.5~50μm的水雾，采用四氯化钛（TiCl4）作示踪粒子时，应确保洁净室、室内设备以及操作人员不受四氯化钛产生的酸伤害。
4、采用图像处理技术进行气流目测时，由C.5.2得到的在摄像机或膜上的粒子图像数据，利用二维空气流速度矢量提供量化的气流特性。图像处理技术要求带有适用的接口和软件的数字计算机。
5、采用三维法测量气流速度、采用热球风速计或超声风速计，检测点选择在关键工作区及其工作面高度。根据建设方要求需进行洁净室（区）的气流方向的均匀分布测试时，应进行多点测试，其测试点的选择宜参照C.2中的方法选用。
F、温度的检测
1、温度测试是确认空气处理设施的温度控制能力。洁净室（区）的温度测试可分为一般温度测试和功能温度测试。一般温度测试主要适用于“空态”时的洁净室（区）温度测试，功能温度测试主要用于洁净室（区）需严格控制温度精度时或建设方要求在“静态”或“动态”进行测试时应用。
2、温度测试可采用玻璃温度计、电阻温度检测装置、数字式温度计等。
3、温度测试应在洁净室（区）进行调试，气流均匀性测试完成，并在净化空调系统连续运行24h以上后进行。
4、一般温度测试的测点，每个温度控制区或每个房间1个测点，测试点高度宜为工作面高度。测量时间应至少1.0h，并至少6min测量一次，读数稳定后作好记录。
5、功能温度测试，应将洁净工作区划分为等面积的栅格，每个分格的面积不超过100m2或与建设方协商确定，每格测点1个以上，每个房间测点至少2个。
测试高度应为工作面高度，距洁净室（区）的吊顶、墙面和地面不小于300mm，并应考虑热源等的影响。测量时间应至少1.0h，并至少6min测量一次，读数稳定后作好记录。
G、相对湿度的检测
1、相对湿度测试是确认空气处理设施的湿度控制能力。
2、湿度测试可采用通风干湿球温度计、数字式温湿度计、电容式湿度计、毛发式湿度仪器。
3、相对湿度测试的测点，测试时间、频度与温度测试相同，宜一同测试。
H、密闭性测试
1、本测试用于确认有无被污染的空气从相邻洁净室（区）或非洁净室（区）通过吊顶、隔墙等表面或门、窗渗漏入洁净室（区）。一般适用于1级至5级的洁净室（区）进行测试。采用光度计法和粒子计数器法进行测试。
2、采用粒子计数器法时，测量被评价的表面的洁净室（区）外部的空气中悬浮粒子浓度，应比洁净室（区）内的浓度大一个104的倍数，并至少大于等于3.5×106/m3待测粒径；若其空气中悬浮粒子浓度小于该值，应添加气溶胶提高浓度。
粒子计数器扫描时，仪器应距离洁净室（区）内待测试的接缝密封处或啮合面5~10cm；扫描速度5cm/s。对敞开的门廊处的测试，应在距离洁净室（区）内敞开的门0.3~3.0m处检测空气中悬浮粒子浓度。
3、采用光度计法时，测量被评价的表面的洁净室（区）外部的空气中悬浮粒子浓度高于光度计按0.1%设定值的负载，若光度计为0.1%刻度值的读数超过0.01%就表明有渗漏。
I、噪声测试
1、噪声测试宜采用倍频程噪声分析仪，一般检测A声压级的数据。洁净室（区）噪声测试状态为空态或与建设方协商确定。
2、噪声测试点应在工作面高度进行，一般宜为距地面1.2~1.5m。测试点数量可按每100m2洁净室（区）面积一个点计算，但每个房间至少1点。
J、照度的测试
1、照度测试宜采用便携式数字照度计。
2、洁净室（区）照度的检测应在室内温度稳定和光源光输出稳定的状态后进行；对新荧光灯区应使用100h以上，并在点燃15min后进行测试。
3、洁净室（区）照度的检测只测试一般照明，不包括局部照明、应急照明等。
4、照度测试点应选择在工作面高度进行，一般宜为0.85m，通道测试高度宜为0.2m；测试点数量可按每50m2洁净室（区）面积一个点计算，但每个房间不得少于1点。
K、自净时间
1、洁净室的自净时间检测通常只适用于非单向流洁净室，一般以大气尘或烟雾发生器等人工尘源为基准，采用粒子计数器测试。
2、首先应测量洁净室内靠近回风口处稳定的含尘浓度（N）。
如果以大气尘为基准，则必须将洁净室停止运行相当时间，在室内含尘浓度已接近于大气浓度时，测出洁净室内靠近回风口处的含尘浓度（N0）。然后开机，定时读数（一般可设置每间隔6s读数一次），直到回风口处的含尘浓度回复到原来的稳定状态，记录下所需的时间（t）。
以人工尘源为基准时，应将烟雾发生器（如巴兰香烟）放置在地面上1.8m以上室中心，发烟1~2min后停止，等待1min测出洁净室内靠近回风口处的含尘浓度（N0）。然后开机，方法同上。
3、由初始浓度（N0），室内达到稳定的浓度（N），实际换气次数（n），可得到计算自净时间（t0），与实测自净时间（t）进行对比，一般的，如果t≤1.2t0,为合格。
4、洁净室的自净性能还可以采用粒子浓度变化率评估，或者直接测量洁净室的100:1-自净时间进行评估，具体方法可参照ISO14644-3中的B.13。
L、静电测试
1、洁净室（区）内的地面、墙面和工作台面等的表面导静电性能的测试，应根据生产工艺要求确定。宜采用高阻计进行测试。
2、在表面导静电测试表面上，按照与建设方商定的测量区域内的检测点，按下图所示的测试装置测量表面电阻和泄漏电阻。园柱形铜电极的直径为d=60mm。重量为2.0kg，2个铜电极之间的距离≥900mm。
表面导静电性能测试装置
1-高阻计，2-被测表面，3-园柱形铜电极，4-湿渍低。
M、浮游菌、沉降菌的检测
1、根据生产工艺要求必须控制洁净室（区）内的微生物污染时，应进行洁净室（区）内空气中微生物污染的检测。微生物污染的检测可在三种占用状态中的任一种状态进行。宜采用浮游菌的测试方法和沉降菌的测试方法。
2、浮游菌的测试方法是通过采样器采集在空气中的活微生物粒子，通过专门的培养基，在适宜的生长条件下繁殖到可见的菌落数。浮游菌的测试方法应符合现行国家标准《医药工业洁净室（区）浮游菌的测试方法》GB/T16293的要求。
3、沉降菌的测试方法是通过培养皿收集到的活微生物粒子，通过专用的培养基，在适宜的生长条件下繁殖到可见的菌落数。沉降菌的测试方法应符合现行国家标准《医药工业洁净室（区）沉降菌的测试方法》GB/T16294的要求。
4、根据生产工艺要求必须控制洁净室（区）内的微生物活粒子时，还可进行表面微生物污染测量。
 
 

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